[发明专利]一种陶瓷盘研磨机、浮动式研磨机构及其工作方法

说明书

本发明提供了一种陶瓷盘研磨机、浮动式研磨机构及其工作方法，工作方法包括以下操作步骤：S1.研磨头向下运动至下限位的位置；S2.首次调试；S3.研磨头向上运动至上限位的位置；S4.研磨；S5.研磨结束；S6.重复以上步骤S3‑S5。本发明的浮动式研磨机构在研磨过程中，PLC控制器进行压力实时监控并通过电气比例阀进行补偿压力，此时研磨头是浮动的，研磨的压力稳定，研磨路径为沿着原点以螺旋线的方式向外扩散，可使陶瓷盘表面残留的膜被均匀研磨掉，使陶瓷盘的表面纹理光滑。

技术领域

本发明涉及半导体清洗设备技术领域，具体涉及一种陶瓷盘研磨机、浮动式研磨机构及其工作方法。

背景技术

现有的客户现场是通过手动打磨陶瓷盘，存在以下技术缺陷：手工打磨时，陶瓷盘受力不均匀，产品表面光洁度不好；另外，人工打磨的工作效率低，耗时长。

因此，如何设计一种可以代替手工打磨的、用于陶瓷盘研磨机的浮动式研磨机构，成为急需解决的问题。

发明内容

针对现有技术存在的问题，本发明提供一种陶瓷盘研磨机、浮动式研磨机构及其工作方法，以解决上述至少一种技术问题。

本发明的技术方案是：一种陶瓷盘研磨机的浮动式研磨机构，包括沿着垂直方向布置的Z轴底板，所述Z轴底板上设置有支撑座，支撑座上设置有气缸，气缸的活塞向下布置，气缸的活塞端设置有压力传感器，压力传感器安装在Z轴滑块上，Z轴滑块上还设置有第一伺服电机，第一伺服电机的输出端向下布置，第一伺服电机的输出端通过磨头轴连接研磨头；气缸的缸体一侧设置有编码器拉板，Z轴滑块上设置有拉绳位移编码器，拉绳位移编码器的头部与编码器拉板连接；气源分两路分别接入气缸的上端接口和下端接口，一路依次通过减压阀、速度控制阀、二位二通电磁阀接入气缸的下端接口，另一路依次通过电气比例阀、二位三通电磁阀接入气缸的上端接口，二位三通电磁阀的一个端口接蓄能器；第一伺服电机、拉绳位移编码器、压力传感器、二位二通电磁阀、电气比例阀、二位三通电磁阀均连接PLC控制器。

本发明采用压力传感器反馈气缸的压力给PLC控制器，通过PLC控制器控制气路系统中的各个电磁阀；拉绳位移编码器反馈记录研磨头的位置并发送给PLC控制器，通过PLC控制器控制研磨头的转速进行打磨，提高了工作效率，解决了人工打磨工作效率低、耗时长的技术缺陷。

本发明提供一种陶瓷盘研磨机的浮动式研磨机构工作方法，包括以下步骤：

S1.研磨头向下运动至下限位的位置，

浮动式研磨机构的研磨头升降部分在不通气的情况下，由于其自身的重量G1，向下运动至下限位的位置；

S2.首次调试，

T1.气缸的下端压力调节，二位二通电磁阀通电，气源的气体依次通过减压阀、速度控制阀、二位二通电磁阀进入气缸的下端接口，调节减压阀的压力，使研磨头升降部分平衡不动时的压力为P1，此时P1＝G1；T2.减压阀的实际使用压力调节，减压阀实际使用的压力记为P2，使P2-P1≥0MPa，差值范围为0.01-0.1MPa，根据需要在差值范围内任取一个值，这样研磨头升降部分能向上移动；

T3.调节气缸的上升速度，

调节速度控制阀的流量，使气缸上升时速度平缓，完成气缸的下端压力调节；

T4.气缸的上端压力调节，二位三通电磁阀通电，气源的气体依次通过电气比例阀、二位三通电磁阀进入气缸的上端接口，然后PLC控制器通过电信号调节电气比例阀的阀芯截面面积，从而调节压力的大小，此时的压力记为P3，使P3-(P2-P1)＝P，P为压力传感器的设置压力，P设为0.1-0.5kg/cm2；

S3.研磨头向上运动至上限位的位置，

在使用过程中，气缸的下端接口气路上的二位二通电磁阀一直通电，使研磨头升降部分上升至上限位的位置；

S4.研磨，

U1.使研磨头移动至原点，原点为陶瓷盘的圆心；