[发明专利]一种用于真空镀膜膜厚测试的支架

说明书

本发明涉及真空镀膜设备领域，尤其涉及一种用于真空镀膜膜厚测试的支架，包括支撑圈，所述支撑圈的外周均匀分布有用于调节样品位置的位置调节机构，所述位置调节机构的上下端均设置有用于夹持样品的样品夹持机构，所述支撑杆相靠近的一端均固定连接在吊杆的下端外周，本发明通过位置调节机构调节样品的位置，不仅节省了测试成本，而且使测试结果更加准确，且通过样品夹持机构内的限位组件和连接组件以及调节组件，实现了在母板的样品切割尺寸出现误差时，仍然能将母板的样品夹紧，并且夹持时具有一定的缓冲效果，避免直接对母板的样品进行硬性夹持导致其发生破裂损坏的情况。

技术领域

本发明涉及真空镀膜设备技术领域，尤其涉及一种用于真空镀膜膜厚测试的支架。

背景技术

在真空镀膜领域，为了形成一定厚度规格的镀层薄膜，在批量镀膜之前，需要通过对镀膜的膜厚测试来对真空镀膜工艺参数进行测试调整，为此，必须使用镀膜测试样品进行测试薄膜样品制作，并且根据测量镀膜测试样品的实际膜厚，进而调整镀膜工艺，然而，在一些较大的玻璃制品，特别是在等离子电视机适用的等离子显示屏测试和制造过程中，必须对等离子显示屏的金属氧化物，如氧化镁导电薄膜的膜厚进行精确测试，以调整真空镀膜设备的镀膜工艺参数，减少镀膜成品的不良率。

但是在现有技术中，真空镀膜领域中常用的是电子束蒸发镀膜，该方法是依靠皮尔斯电子枪发射的高能电子束流轰击靶材，使靶材受热瞬间蒸发，最终沉积到相对位置的基片上，从而在基片上形成一层镀膜，传统的膜厚测试方法主要有三种，一种是直接用母板进行镀膜，镀膜完成后，再将母板切割成若干小块，进行膜厚测试，该方法测试成本高，且在切割过程中，往往会因为母板碎裂而影响膜厚测试结果。第二种，使用高温胶带将载玻片贴附在母板上进行镀膜，然后用台阶仪测量膜层厚度，该测试方法由于仍然必须使用玻璃母板作为载体，测试成本依然比较高。第三种，是将母板切割成小块后，放置在长条的板托上样品口内进行镀膜，后将镀膜完成的小块用台阶仪测量膜层厚度，该方法虽已解决上述两种方法中的问题，但是依旧存在根据母板的形状大小进行不同位置的镀膜测试，测试结果不准确，且直接将切割成小块的母板样品放置在样品口内，容易出现切割时尺寸把握不准而造成无法放置进样品口或样品口无法卡住母板样品的情况。

发明内容

本发明的目的是为了解决背景技术中存在的缺点，而提出的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架。

为达到以上目的，本发明采用的技术方案为：一种用于真空镀膜膜厚测试的支架，包括支撑圈，所述支撑圈的外周均匀分布有用于调节样品位置的位置调节机构，所述位置调节机构的上下端均设置有用于夹持样品的样品夹持机构，所述支撑圈的内周均匀分布有支撑杆，所述支撑杆相靠近的一端均固定连接在吊杆的下端外周，所述吊杆的上端外周固定连接有联轴器，用于将支撑圈及位置调节机构和样品夹持机构吊装在镀膜机的旋转连接件的下端。

优选的，所述位置调节机构包括均匀分布在支撑圈外周的支撑板，所述支撑板远离支撑圈的一侧上下端均固定连接有限位座，所述支撑板远离支撑圈的一侧中部均转动连接有驱动组件，所述驱动组件的前端固定连接在内螺纹筒的中部外周，所述内螺纹筒的上下端内周均螺纹连接有螺纹杆一，所述螺纹杆一远离支撑圈的一端均固定连接有滑杆，所述滑杆的一侧均固定连接有限位条，所述滑杆和限位条的外周均滑动连接在限位座的中部开口内。

优选的，所述驱动组件包括转动连接在支撑板远离支撑圈一侧中部开口内的驱动杆，所述驱动杆的一端均固定连接有转把一，所述驱动杆的另一端均固定连接有锥齿轮一，所述锥齿轮一均啮合连接有锥齿轮二，所述锥齿轮二的中部内周均固定连接在内螺纹筒的中部外周。

优选的，所述样品夹持机构包括固定连接在滑杆远离支撑圈一端的框架，所述框架的内上壁中部均开设有限位槽一，所述框架的内两侧中部均开设有滑槽一，所述框架的内中部均设置有支撑条，所述支撑条的上端中部均开设有限位槽二，所述支撑条的下端均开设有滑槽二，所述滑槽二的中部均固定连接有限位组件，所述滑槽二的内两侧均滑动连接有连接组件，所述连接组件远离支撑圈的一端均固定连接在调节板靠近支撑圈的一侧中部，所述调节板远离支撑圈的一侧中部均固定连接有调节组件。