[发明专利]一种用于真空镀膜膜厚测试的支架有效
申请号: | 202211544312.X | 申请日: | 2022-12-04 |
公开(公告)号: | CN115533792B | 公开(公告)日: | 2023-03-10 |
发明(设计)人: | 许晓晨;林文治;李柏仪;钱鑫;陈守军;张坤;王言锋;郑守磊 | 申请(专利权)人: | 徐州市检验检测中心 |
主分类号: | B25B11/00 | 分类号: | B25B11/00;G01B21/08 |
代理公司: | 深圳天融专利代理事务所(普通合伙) 44628 | 代理人: | 程华 |
地址: | 221000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 真空镀膜 测试 支架 | ||
1.一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,包括支撑圈(1),其特征在于:所述支撑圈(1)的外周均匀分布有用于调节样品位置的位置调节机构(2),所述位置调节机构(2)的上下端均设置有用于夹持样品的样品夹持机构(3),所述支撑圈(1)的内周均匀分布有支撑杆(4),所述支撑杆(4)相靠近的一端均固定连接在吊杆(5)的下端外周,所述吊杆(5)的上端外周固定连接有联轴器(6),用于将支撑圈(1)及位置调节机构(2)和样品夹持机构(3)吊装在镀膜机的旋转连接件的下端,所述位置调节机构(2)包括均匀分布在支撑圈(1)外周的支撑板(201),所述支撑板(201)远离支撑圈(1)的一侧上下端均固定连接有限位座(2010),所述支撑板(201)远离支撑圈(1)的一侧中部均转动连接有驱动组件,所述驱动组件的前端固定连接在内螺纹筒(206)的中部外周,所述内螺纹筒(206)的上下端内周均螺纹连接有螺纹杆一(207),所述螺纹杆一(207)远离支撑圈(1)的一端均固定连接有滑杆(208),所述滑杆(208)的一侧均固定连接有限位条(209),所述滑杆(208)和限位条(209)的外周均滑动连接在限位座(2010)的中部开口内,所述驱动组件包括转动连接在支撑板(201)远离支撑圈(1)一侧中部开口内的驱动杆(202),所述驱动杆(202)的一端均固定连接有转把一(203),所述驱动杆(202)的另一端均固定连接有锥齿轮一(204),所述锥齿轮一(204)均啮合连接有锥齿轮二(205),所述锥齿轮二(205)的中部内周均固定连接在内螺纹筒(206)的中部外周。
2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:所述样品夹持机构(3)包括固定连接在滑杆(208)远离支撑圈(1)一端的框架(301),所述框架(301)的内上壁中部均开设有限位槽一(302),所述框架(301)的内两侧中部均开设有滑槽一(303),所述框架(301)的内中部均设置有支撑条(304),所述支撑条(304)的上端中部均开设有限位槽二(3018),所述支撑条(304)的下端均开设有滑槽二(305),所述滑槽二(305)的中部均固定连接有限位组件,所述滑槽二(305)的内两侧均滑动连接有连接组件,所述连接组件远离支撑圈(1)的一端均固定连接在调节板(3010)靠近支撑圈(1)的一侧中部,所述调节板(3010)远离支撑圈(1)的一侧中部均固定连接有调节组件。
3.根据权利要求2所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:所述支撑条(304)的两端均滑动连接在滑槽一(303)的内部,所述调节板(3010)的两端均滑动连接在滑槽一(303)内部,所述调节板(3010)均位于支撑条(304)远离支撑圈(1)的一侧。
4.根据权利要求2所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:所述连接组件包括滑动连接在滑槽二(305)内两侧的滑座(306),所述滑座(306)的内部均通过转杆一(307)转动连接有连接杆(3019),所述连接杆(3019)远离滑座(306)的一端均通过转杆二(308)转动连接在旋转座(309)的开口内两侧,所述旋转座(309)远离支撑圈(1)的一端均固定连接在调节板(3010)靠近支撑圈(1)的一侧中部。
5.根据权利要求2所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:所述调节组件包括转动连接在框架(301)远离支撑圈(1)一侧中部螺纹杆二(3013),所述螺纹杆二(3013)靠近支撑圈(1)的一端均转动连接有限位轴承座(3011),所述螺纹杆二(3013)的另一端均固定连接有转把二(3014),所述螺纹杆二(3013)的中部外周均螺纹连接有螺纹套(3012)。
6.根据权利要求5所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:所述限位轴承座(3011)靠近支撑圈(1)的一端均固定连接在调节板(3010)远离支撑圈(1)的一侧中部,所述螺纹套(3012)靠近支撑圈(1)的一端均固定连接在框架(301)远离支撑圈(1)的一侧中部。
7.根据权利要求2所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:所述限位组件包括固定连接在滑槽二(305)内中部的限位筒(3015),所述限位筒(3015)的内中部设置有弹簧(3016),所述弹簧(3016)的两端均固定连接有限位杆(3017),所述限位杆(3017)相靠近的一端外周均滑动连接在限位筒(3015)的两端开口内,所述限位杆(3017)相远离的一端均固定连接在滑座(306)相靠近的一侧上端。
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