[发明专利]一种面板行业用金属碱性蚀刻液及其制备方法在审
| 申请号： | 202211523822.9 | 申请日： | 2022-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN116145142A | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 戈烨铭;何珂;汤晓春 | 申请（专利权）人： | 江阴润玛电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/34 | 分类号： | C23F1/34 |
| 代理公司： | 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 | 代理人： | 江霞 |
| 地址： | 214423 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 面板 行业 金属 碱性 蚀刻 及其 制备 方法 | ||
1.一种面板行业用的用于蚀刻铜的碱性蚀刻液，其包含氯化铜、氯化铵、氨水、护岸剂、湿润剂和水。
2.权利要求1的碱性蚀刻液，其中所述碱性蚀刻液包含110-150g/L氯化铜、140-160g/L氯化铵、20-30％氨水、6-10mg/L护岸剂、0.4-1.0g/L湿润剂。
3.权利要求1或2的碱性蚀刻液，其中所述护岸剂选自甲基四唑、巯基丙二醇、苯并咪唑、苯并三氮唑、2-巯基苯并噻唑、8-羟基喹啉或8-巯基喹啉，
优选地，所述护岸剂是8-巯基喹啉。
4.权利要求1或2的碱性蚀刻液，其中所述湿润剂选自2-苯氧基乙醇。
5.权利要求1-4中任一项的碱性蚀刻液，其pH值为8.0-9.0。
6.一种制备权利要求1的碱性蚀刻液的方法，包括
1)称取预定量的氯化铵、护岸剂、湿润剂加入水中，搅拌直至完全溶解，
2)称取预定量的氯化铜加入步骤1)的溶液中，搅拌直至完全溶解，
3)向步骤2)的溶液加入适当量的氨水以将溶液pH调节至预定值。
7.权利要求6的方法，其中各组分的预定量如下：110-150g/L氯化铜、140-160g/L氯化铵、20-30％氨水、6-10mg/L护岸剂、0.4-1.0g/L湿润剂。
8.权利要求6或7的方法，其中所述护岸剂选自甲基四唑、巯基丙二醇、苯并咪唑、苯并三氮唑、2-巯基苯并噻唑、8-羟基喹啉或8-巯基喹啉，
优选地，所述护岸剂是8-巯基喹啉。
9.权利要求6或7的方法，其中所述湿润剂选自2-苯氧基乙醇。
10.权利要求6-9中任一项的的方法，其中pH值为8.0-9.0。
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