[发明专利]一种分子泵辅助测试装置

说明书

本发明涉及操纵分子泵测试技术领域，具体涉及一种分子泵辅助测试装置，包括：机架内安装分子泵；第二快换盘设置于机架侧面；升降机构带动第四连接板升降；第四动力结构设置在第四连接板上，且带动第二连接板移动；第三动力结构设置在第二连接板上，且带动承载板旋转；第三快换盘设置在承载板上，且与第二快换盘进行连接和拆卸；本申请通过升降机构带动第四连接板升降，第二快换盘对准第三快换盘；第四动力结构将第二快换盘靠近第三快换盘连接；在升降机构带动安装分子泵的机架上升后，第三动力结构带动安装分子泵的机架进行旋转，以方便对分子泵进行角度调整，节省人力，降低劳动强度，实现测试过程自动化，提高升降温测试效率。

技术领域

本发明涉及操纵分子泵测试技术领域，具体涉及一种分子泵辅助测试装置。

背景技术

针对磁悬浮分子泵的六角度升降温测试过程，是保证磁悬浮分子泵产品合格的重要环节之一，同时也是保证磁悬浮分子泵安全运行的关键工艺。磁悬浮分子泵作为真空获得设备，在镀膜和半导体领域均得到广泛应用。由于现场安装磁悬浮分子泵的设备各有不同，要求磁悬浮分子泵能够满足任意角度安装，进而要求磁悬浮分子泵在任意角度状态下均可正常悬浮。六角度升降温测试是模拟磁悬浮分子泵在六个角度安装条件下，面对恶劣工况，确认磁悬浮分子泵是否能够正常运转的测试。

针对磁悬浮分子泵六角度升降温测试过程，需要依靠四名测试人员，对磁悬浮分子泵进行翻转调整，获得不同的测试角度，整个测试过程需要耗时3个工作日。磁悬浮分子泵在测试过程中，需要将磁悬浮分子泵安装在测试台架上进行测试；测试台架与磁悬浮分子泵的总重量约100Kg，这给测试人员带来较大负担，在对磁悬浮分子泵进行翻转调整时，极其费力，严重影响对磁悬浮分子泵进行测试的效率。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服在磁悬浮分子泵六角度升降温测试的过程中，需要测试人员较多，调整角度费力，进而导致测试效率低的缺陷，基于以上情况，开发一种调整磁悬浮分子泵角度省力，提高磁悬浮分子泵六角度升降温测试效率的分子泵辅助测试装置十分必要。

为了实现上述目的，本发明提供一种分子泵辅助测试装置，包括：

机架，内部适于安装分子泵；

第二快换盘，设置于机架的侧面；

升降机构，设有第四连接板，所述升降机构适于带动第四连接板上下移动；

第四动力结构，设置在第四连接板上，且在第四动力结构上设有第二连接板，所述第四动力结构适于带动第二连接板在水平面内进行直线往复移动；

第三动力结构，设置在第二连接板上，且在第三动力结构上设有承载板，所述第三动力结构适于带动所述承载板在竖直平面上旋转；

第三快换盘，设置在承载板上，所述第三快换盘适于与第二快换盘进行快速连接和拆卸。

可选地，所述升降机构包括：

四根直线导轨，竖直平行设置；

第五连接板，设置于所述四根直线导轨的顶端；

第二动力结构，设置于所述第五连接板上；

两个主动链轮，分别位于所述第二动力结构的两侧，且两个主动链轮分别与所述第二动力结构两端的动力输出连接；

两个从动链轮，分别通过两根链条与所述两个主动链轮连接，且所述两根链条竖直设置，所述第四连接板的两端分别与两根链条连接。

可选地，所述升降机构还包括：

第一主轴，作为第二动力结构两端的动力输出，在靠近两端的位置分别与两个主动链轮连接，且第一主轴的两端通过第一轴承座安装在第五连接板上；

从轴，靠近两端的位置分别与两个从动链轮连接，且从轴的两端通过第三轴承座分别安装在两根直线导轨上。