[发明专利]一种分子泵辅助测试装置

权利要求书

1.一种分子泵辅助测试装置，其特征在于，包括：

机架(13)，内部适于安装分子泵(15)；

第二快换盘(14)，设置于机架(13)的侧面；

升降机构，设有第四连接板(32)，所述升降机构适于带动第四连接板(32)上下移动；

第四动力结构(23)，设置在第四连接板(32)上，且在第四动力结构(23)上设有第二连接板(22)，所述第四动力结构(23)适于带动第二连接板(22)在水平面内进行直线往复移动；

第三动力结构(21)，设置在第二连接板(22)上，且在第三动力结构(21)上设有承载板(34)，所述第三动力结构(21)适于带动所述承载板(34)在竖直平面上旋转；

第三快换盘(33)，设置在承载板(34)上，所述第三快换盘(33)适于与第二快换盘(14)进行快速连接和拆卸。

2.根据权利要求1所述的分子泵辅助测试装置，其特征在于，所述升降机构包括：

四根直线导轨(24)，竖直平行设置；

第五连接板(35)，设置于所述四根直线导轨(24)的顶端；

第二动力结构(19)，设置于所述第五连接板(35)上；

两个主动链轮(18)，分别位于所述第二动力结构(19)的两侧，且两个主动链轮(18)分别与所述第二动力结构(19)两端的动力输出连接；

两个从动链轮(30)，分别通过两根链条与所述两个主动链轮(18)连接，且所述两根链条竖直设置，所述第四连接板(32)的两端分别与两根链条连接。

3.根据权利要求2所述的分子泵辅助测试装置，其特征在于，所述升降机构还包括：

第一主轴(16)，作为第二动力结构(19)两端的动力输出，在靠近两端的位置分别与两个主动链轮(18)连接，且第一主轴(16)的两端通过第一轴承座(17)安装在第五连接板(35)上；

从轴(36)，靠近两端的位置分别与两个从动链轮(30)连接，且从轴(36)的两端通过第三轴承座(31)分别安装在两根直线导轨(24)上。

4.根据权利要求2所述的分子泵辅助测试装置，其特征在于，所述第四动力结构(23)通过滑块(25)滑动连接于所述直线导轨(24)上。

5.根据权利要求1－4任一项所述的分子泵辅助测试装置，其特征在于，还包括：

两个第二支撑板(29)，设置于所述第四连接板(32)上，且分别位于所述第四动力结构(23)的两侧；

两根导向杆(27)，分别通过第二轴承座(28)安装于两个第二支撑板(29)上，两根导向杆(27)的端部均与第二连接板(22)连接，两根导向杆(27)适于直线往复移动，且两根导向杆(27)的移动方向与所述第二连接板(22)的直线往复移动的方向相同。

6.根据权利要求1－4任一项所述的分子泵辅助测试装置，其特征在于，还包括：

旋转组件(1)，所述机架(13)放置于所述旋转组件(1)上，且所述旋转组件(1)适于带动所述机架(13)在水平面内进行旋转。

7.根据权利要求6所述的分子泵辅助测试装置，其特征在于，还包括：

第一快换盘(10)，设置于机架(13)的顶面，且在所述第三动力结构(21)通过第三快换盘(33)与第二快换盘(14)，将所述机架(13)进行90°翻转，再由旋转组件(1)带动所述机架(13)旋转90°后，所述第一快换盘(10)适于与第三快换盘(33)进行快速连接和拆卸。

8.根据权利要求6所述的分子泵辅助测试装置，其特征在于，所述旋转组件(1)包括：

承载件(9)，适于放置所述机架(13)；

第二齿轮(8)，齿面与所述承载件(9)连接；

第一齿轮(7)，与所述第二齿轮(8)啮合；

第一动力结构(6)，与所述第一齿轮(7)连接，所述第一动力结构(6)适于带动所述第一齿轮(7)转动。