[发明专利]研磨装置和研磨方法

权利要求书

1.一种研磨装置，其特征在于，包括：研磨基座、光发射器和光感应器，所述研磨基座具有研磨面，所述研磨面用于研磨待研磨件，所述待研磨件具有针尖；

所述光发射器的发射端和所述光感应器的感应端均位于所述研磨面的所在平面，所述光发射器发出的光线贴合所述研磨面并朝向所述光感应器；

所述针尖的端面抵接所述研磨面，并遮挡所述光线向所述光感应器发射，形成所述研磨装置的研磨状态。

2.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，还包括支撑件，所述支撑件设置在所述研磨基座的靠近所述研磨面的一侧，所述光发射器和所述光感应器设置于所述支撑件上，所述支撑件用于支撑所述待研磨件。

3.根据权利要求2所述的研磨装置，其特征在于，所述支撑件与所述研磨基座之间设置有距离调节件，所述距离调节件活动连接于所述支撑件和所述研磨基座的至少一者，所述距离调节件用于调节所述支撑件与所述研磨基座的距离。

4.根据权利要求3所述的研磨装置，其特征在于，所述支撑件具有距离调节孔，所述距离调节件插设在所述距离调节孔中，所述距离调节孔的内壁面具有内螺纹，所述距离调节件的外壁面具有外螺纹，所述内螺纹和所述外螺纹啮合；

所述距离调节件的每转进给量的范围为1mm/R-5mm/R。

5.根据权利要求2-4任一所述的研磨装置，其特征在于，还包括驱动组件和固定件，所述驱动组件设置在所述支撑件上，所述驱动组件与所述固定件相连，所述固定件用于与所述待研磨件相连，所述驱动组件用于带动所述固定件沿靠近或远离所述研磨面的方向运动。

6.根据权利要求5所述的研磨装置，其特征在于，还包括控制器，所述控制器分别与所述光感应器和所述驱动组件电连接；

所述控制器被配置为控制所述驱动组件带动所述固定件沿靠近所述研磨面的方向运动，以使所述针尖的端面抵接所述研磨面并遮挡所述光线向所述光感应器发射，并控制所述驱动组件停止工作。

7.根据权利要求5所述的研磨装置，其特征在于，所述固定件包括相连的传动部和固定部，所述固定部通过所述传动部与所述驱动组件相连，所述固定部用于与所述待研磨件相连，所述驱动组件用于驱动所述传动部沿靠近或远离所述研磨面的方向运动，以使所述固定件沿靠近或远离所述研磨面的方向运动。

8.根据权利要求7所述的研磨装置，其特征在于，所述固定部朝向所述研磨面的一端设置有多个夹紧部，多个所述夹紧部沿所述固定部的周向间隔设置，且多个所述夹紧部之间形成有夹紧区域。

9.根据权利要求8所述的研磨装置，其特征在于，所述夹紧部包括弹性部和两个抵接部，两个所述抵接部分别位于所述弹性部的沿所述研磨基座的厚度方向的两端；

沿所述研磨基座的厚度方向，各所述夹紧部与所述夹紧区域的中心之间的距离均先增大后减小。

10.根据权利要求5所述的研磨装置，其特征在于，还包括伸缩组件，所述伸缩组件位于所述固定件与所述支撑件之间，所述伸缩组件的一端与所述固定件相连，所述伸缩组件的另一端连接至所述支撑件；

所述伸缩组件的伸缩方向与所述固定件的运动方向相同。

11.根据权利要求10所述的研磨装置，其特征在于，所述伸缩组件包括第一伸缩件和第二伸缩件，所述第一伸缩件和所述第二伸缩件相互套设，所述第一伸缩件和所述第二伸缩件沿所述伸缩方向活动连接，所述第一伸缩件与所述固定件相连，所述第二伸缩件连接至所述支撑件。