[发明专利]一种可调激光衰减器

权利要求书

1.一种可调激光衰减器，其特征在于：包括两个相同基材的直角棱镜，两个直角棱镜的斜面相互靠合；在直角棱镜斜面上的一端镀制不同厚度的膜层，来控制两个直角棱镜斜面之间的空气间隔，以此实现不同波段的不同衰减比例。

2.如权利要求1所述的可调激光衰减器，其特征在于：不镀制膜层一端，两个直角棱镜斜面间间隔为零；镀制膜层一端，两个直角棱镜斜面间间隔为膜层厚度；使得两个直角棱镜斜面间的空气间隔呈三角形结构。

3.如权利要求1或2所述的可调激光衰减器，其特征在于：两个直角棱镜的两端面分别胶合有玻璃板；膜层宽度为1.5～2.5mm。

4.如权利要求1或2所述的可调激光衰减器，其特征在于：针对近紫外到近红外波段，直角棱镜所用材料为熔石英；针对中远红外波段，直角棱镜所用材料为硒化锌。

5.如权利要求1或2所述的可调激光衰减器，其特征在于：针对近紫外到近红外波段，膜层为二氧化硅膜层，针对中远红外，膜层为锗膜层。

6.如权利要求5所述的可调激光衰减器，其特征在于：二氧化硅膜层的厚度为30～1200nm；锗膜层的厚度为60～3000nm。

7.如权利要求1或2所述的可调激光衰减器，其特征在于：膜层的制备包括如下步骤：

(1)基底加热：镀膜前对直角棱镜在抽真空状态下进行烘烤加热，提高直角棱镜温度，烘烤温度为300～350℃，时间为1～1.5h；

(2)离子束清洗：对直角棱镜进行离子束清洗，离子清洗时长为1～15min，离子束电压为300～400V，离子束流为300～400A；

(3)棱镜斜角面膜层的镀制：根据膜系设计中模拟的空气间隔距离，在直角棱镜斜面1.5～2.5mm宽度范围内进行膜层制备。

8.如权利要求7所述的可调激光衰减器，其特征在于：步骤(1)中，烘烤加热前，用无尘布蘸环保擦拭液和丙酮体积比为(6-8):1的混合液擦拭基底。

9.如权利要求7所述的可调激光衰减器，其特征在于：步骤(3)中，二氧化硅膜层镀制为：将SiO₂膜料放到坩埚中，采用电子束蒸发的方法进行镀制，其本底真空度高于6.0×10^-3Pa，沉积速率为1-2nm/s。

10.如权利要求7所述的可调激光衰减器，其特征在于：步骤(3)中，锗膜层镀制：将Ge膜料放到坩埚中，采用电子束蒸发的方法进行镀制，其本底真空度高于6.0×10^-3Pa，沉积速率为0.5-1nm/s。