[发明专利]一种光刻机用圆晶片的涂胶装置

权利要求书

1.一种光刻机用圆晶片的涂胶装置，包括外筒(1a)和内筒(1b)，内筒(1b)同轴设置在外筒(1a)的内部，外筒(1a)的顶端高于内筒(1b)的顶端，其特征在于，还包括锥筒(1c)、旋转筒(1d)、伸缩筒(1e)、吸盘(1f)、顶升执行单元(1g)和旋转执行单元(1h)，锥筒(1c)同轴转动的设置在外筒(1a)和内筒(1b)之间，锥筒(1c)的内锥面自外筒(1a)的顶端延伸至内筒(1b)的顶端，旋转筒(1d)同轴转动的设置在内筒(1b)中，伸缩筒(1e)沿轴向滑动设置在旋转筒(1d)中，吸盘(1f)同轴设置在旋转筒(1d)的顶端，且其吸附端竖直朝上，顶升执行单元(1g)设置在内筒(1b)的底部用以沿竖直方向顶升伸缩筒(1e)，旋转执行单元(1h)设置在外筒(1a)外用以驱动锥筒(1c)和旋转筒(1d)旋转。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机用圆晶片的涂胶装置，其特征在于，锥筒(1c)的内锥面的底端低于内筒(1b)的顶端，且锥筒(1c)内锥面底端的直径小于内筒(1b)的外径。

3.根据权利要求2所述的一种光刻机用圆晶片的涂胶装置，其特征在于，外筒(1a)的内周和内筒(1b)的外周之间还设有倾斜向下的引流板(1i)，外筒(1a)上还设置有位于引流板(1i)低端外侧的出胶口(1a1)。

4.根据权利要求2或3所述的一种光刻机用圆晶片的涂胶装置，其特征在于，还包括转动圈(1j)和磁块(1k)，转动圈(1j)同轴转动的设置在外筒(1a)的内周，转动圈(1j)位于锥筒(1c)的底部，转动圈(1j)的内圆周面沿轴向设置有沿其径向延伸的扇片(1j1)，磁块(1k)沿周向固定设置在旋转筒(1d)的外圆周面，且磁块(1k)与扇片(1j1)处于同一高度，磁块(1k)为亲磁性材质。

5.根据权利要求2或3所述的一种光刻机用圆晶片的涂胶装置，其特征在于，还包括连杆(1m)和拉簧(1n)，连杆(1m)沿周向布置在吸盘(1f)的底部，连杆(1m)的一端通过销轴与吸盘(1f)的底端转动连接，销轴的轴线竖直，连杆(1m)的另一端具有可沿径向贴合锥筒(1c)内锥面的刮面(1m1)，拉簧(1n)的一端与销轴连接，拉簧(1n)的另一端与另一个连杆(1m)的内侧连接。

6.根据权利要求1所述的一种光刻机用圆晶片的涂胶装置，其特征在于，旋转筒(1d)的外周沿周向设置有沿其轴向延伸的齿条(1d1)，伸缩筒(1e)的内周沿周向设置有沿其轴向延伸的齿槽(1e1)，齿条(1d1)和齿槽(1e1)嵌合滑动配合。

7.根据权利要求1所述的一种光刻机用圆晶片的涂胶装置，其特征在于，伸缩筒(1e)的内周底端设置有与其同轴的阶梯槽(1e2)，顶升执行单元(1g)包括电动推杆(1g1)、齿圈(1h2)和固定环(1g3)，外筒(1a)和内筒(1b)的底端设有密封板，电动推杆(1g1)沿竖直方向设置在密封板的底端，电动推杆(1g1)的输出轴贯穿密封板并延伸至伸缩筒(1e)内，轴承(1g2)同轴设置在阶梯槽(1e2)中，固定环(1g3)同轴套设在电动推杆(1g1)的输出轴上，固定环(1g3)与轴承(1g2)的内圈同轴固定连接。

8.根据权利要求7所述的一种光刻机用圆晶片的涂胶装置，其特征在于，旋转筒(1d)和伸缩筒(1e)的底端高于密封板，固定环(1g3)上设有沿轴向贯穿其的气孔(1g4)，内筒(1b)的内周底端设有与其同轴的第一限位环(1p)，旋转筒(1d)的外周底端设有与其同轴的第二限位环(1q)，第一限位环(1p)和外筒(1a)之间设置有密封圈(1r)以在旋转筒(1d)和伸缩筒(1e)的底端形成负压腔，密封板底端设置有接气管(1o)，接气管(1o)连通负压腔和外界负压源。