[发明专利]掩膜版及显示面板在审

专利信息
申请号: 202211223404.8 申请日: 2022-10-08
公开(公告)号: CN115595533A 公开(公告)日: 2023-01-13
发明(设计)人: 张怡;王佳骏 申请(专利权)人: 昆山国显光电有限公司
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/24;H01L27/15
代理公司: 成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 51310 代理人: 张红平
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 掩膜版 显示 面板
【权利要求书】:

1.一种掩膜版,其特征在于,包括框架以及固定在所述框架上的至少一组掩膜条,每组掩膜条包括交叠设置的两个掩膜条;

所述掩膜条包括掩膜开口以及围绕所述掩膜开口的掩膜本体;

所述掩膜开口沿所述掩膜条延伸方向间隔分布;

在所述每组掩膜条中,分别位于不同所述掩膜条的所述掩膜开口和所述掩膜本体错位排布,所述掩膜开口未被所述掩膜本体遮挡的区域形成形状和尺寸均相同的子像素蒸镀开口。

2.如权利要求1所述的掩膜版,其特征在于,在所述掩膜条的延伸方向,位于相邻所述掩膜开口之间的掩膜本体的长度小于所述掩膜开口的长度。

3.如权利要求2所述的掩膜版,其特征在于,在所述掩膜条的延伸方向,所述掩膜开口的长度等于四个并列排布的子像素的宽度之和,位于相邻所述掩膜开口之间的掩膜本体的长度等于两个并列排布的子像素的宽度之和,其中,三个并列排布的不同子像素组成一个像素;

优选的,在所述掩膜条的延伸方向,所述掩膜开口的长度小于或等于42.3um,位于相邻所述掩膜开口之间的掩膜本体的长度小于或等于21.15um。

4.如权利要求3所述的掩膜版,其特征在于,在所述掩膜条所在平面内且与所述掩膜条的延伸方向垂直的方向,所述掩膜开口的宽度等于所述子像素的长度。

5.如权利要求4所述的掩膜版,其特征在于,所述每组掩膜条包括与所述框架固定的第一掩膜条以及固定在所述第一掩膜条上的第二掩膜条;

所述第一掩膜条的长边边缘与所述第二掩膜条的长边边缘齐平,其中,所述长边边缘与所述掩膜条的延伸方向平行。

6.如权利要求5所述的掩膜版,其特征在于,在所述掩膜条的延伸方向,所述第一掩膜条和所述第二掩膜条之间错位奇数个像素尺寸后交叠固定;

优选的,在所述掩膜条的延伸方向,所述第一掩膜条和所述第二掩膜条错位一个像素的宽度后交叠固定。

7.如权利要求5或6所述的掩膜版,其特征在于,所述掩膜条包括由分布在靠近所述掩膜条两端的掩膜本体上的焊点形成的焊点区;

所述第一掩膜条通过所述第一掩膜条中的焊点与所述框架焊接;

所述第二掩膜条通过所述第二掩膜条中的焊点与所述第一掩膜条焊接。

8.如权利要求7所述的掩膜版,其特征在于,所述框架与所述第一掩膜条的焊点区所对应的焊接区为半刻区;或,

所述第一掩膜条与所述第二掩膜条的焊点区所对应的焊接区为半刻区;

优选的,所述焊接区为一凹槽。

9.如权利要求8所述的掩膜版,其特征在于,所述掩膜条包括第一对位标记和第二对位标记;

所述第一掩膜条通过所述第一掩膜条上的第一对位标记与所述框架对位后焊接;

所述第二掩膜条通过所述第二掩膜条上的第二对位标记与所述第一掩膜条上的第一对位标记对位后焊接;

其中,所述第一对位标记和所述第二对位标记之间的距离等于奇数个像素尺寸。

10.一种显示面板,其特征在于,所述显示面板包括像素发光层,所述像素发光层采用权利要求1-9中任意一项所述的掩膜版蒸镀得到。

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