[发明专利]过滤器性能评价装置和方法以及过滤器润湿装置

说明书

本发明提供过滤器性能评价装置和方法以及过滤器润湿装置。过滤器性能评价装置包括：流路；异物检测部(70)，其检测在流路中流动的液体中的异物；对象过滤器，其设置在比异物检测部(70)靠上游侧的位置；异物含有状态调节部，其设置在比对象过滤器靠上游侧的位置，经由流路向对象过滤器分别供给异物含有状态彼此不同的多种液体；和控制部。异物检测部检测不通过对象过滤器的液体中包含的异物量和通过后的液体中包含的异物量。控制装置(100)基于分别供给了异物含有状态彼此不同的多种液体时的各自的条件下的、不通过对象过滤器的液体中包含的异物量和通过后的液体中包含的异物量，计算对象过滤器的异物捕集性能，作为对象过滤器的性能。

技术领域

本发明涉及过滤器性能评价装置、过滤器润湿装置和过滤器性能评价方法。

背景技术

在专利文献1中公开了如下的技术方案：以检测对液体进行过滤的过滤器的状态为目的，在过滤器的一次侧通路和二次侧通路中设置异物传感器，根据2个异物传感器的检测结果，求取异物的除去率。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-80193号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

本发明提供能够更高精度地对过滤器的性能进行评价的技术。

用于解决技术问题的手段

本发明的一个方式的过滤器性能评价装置包括：流路，其用于使液体从上游侧向下游侧流通；异物检测部，其能够在所述流路中检测在所述流路中流动的液体中的异物；作为评价对象的过滤器的对象过滤器，其设置在所述流路中的比所述异物检测部靠上游侧的位置；异物含有状态调节部，其设置在所述流路中的比所述对象过滤器靠上游侧的位置，能够经由所述流路向所述对象过滤器分别供给异物的含有状态彼此不同的多种液体；和控制部，所述异物检测部能够检测：不通过所述对象过滤器的液体中包含的异物量；和通过所述对象过滤器之后的液体中包含的异物量，所述控制部能够基于分别供给了异物的含有状态彼此不同的多种液体时的各自的条件下的、不通过所述对象过滤器的液体中包含的异物量和通过所述对象过滤器之后的液体中包含的异物量，计算所述对象过滤器的异物捕集性能，作为所述对象过滤器的性能。

发明效果

采用本发明，能够提供能够更高精度地对过滤器的性能进行评价的技术。

附图说明

图1是表示过滤器润湿装置的概略结构的一个例子的示意图。

图2是表示控制装置的功能上的结构的一个例子的框图。

图3是表示控制装置的硬件上的结构的一个例子的框图。

图4的(a)和图4的(b)是对过滤器的性能评价的考虑方法的一个例子进行说明的图。

图5的(a)和图5的(b)是对在过滤器润湿装置中用于进行过滤器的性能评价的装置的控制内容的一个例子进行说明的图。

图6是对在过滤器润湿装置中用于进行过滤器的性能评价的装置的控制内容的一个例子进行说明的图。

图7是对由过滤器的种类产生的性能差异的一个例子进行说明的图。

图8是表示过滤器性能评价方法的一个例子的流程图。

附图标记说明

1…过滤器润湿装置，10…处理液供给源，30…送液系统，32…上游侧过滤器部，40…泵流路系统，43…过滤器部，50…气体供给系统，70…异物检测部，100…控制装置。

具体实施方式

下面，对各种例示性的实施方式进行说明。