[发明专利]过滤器性能评价装置和方法以及过滤器润湿装置在审

专利信息
申请号: 202211210710.8 申请日: 2022-09-30
公开(公告)号: CN115963043A 公开(公告)日: 2023-04-14
发明(设计)人: 一野克宪 申请(专利权)人: 东京毅力科创株式会社
主分类号: G01N15/08 分类号: G01N15/08
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 龙淳;池兵
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 过滤器 性能 评价 装置 方法 以及 润湿
【权利要求书】:

1.一种过滤器性能评价装置,其特征在于,包括:

流路,其用于使液体从上游侧向下游侧流通;

异物检测部,其能够在所述流路中检测在所述流路中流动的液体中的异物;

作为评价对象的过滤器的对象过滤器,其设置在所述流路中的比所述异物检测部靠上游侧的位置;

异物含有状态调节部,其设置在所述流路中的比所述对象过滤器靠上游侧的位置,能够经由所述流路向所述对象过滤器分别供给异物的含有状态彼此不同的多种液体;和

控制部,

所述异物检测部能够检测:不通过所述对象过滤器的液体中包含的异物量;和通过所述对象过滤器之后的液体中包含的异物量,

所述控制部能够基于分别供给了异物的含有状态彼此不同的多种液体时的各自的条件下的、不通过所述对象过滤器的液体中包含的异物量和通过所述对象过滤器之后的液体中包含的异物量,计算所述对象过滤器的异物捕集性能,作为所述对象过滤器的性能。

2.如权利要求1所述的过滤器性能评价装置,其特征在于:

所述流路还包括在所述对象过滤器的上游侧分支并且在所述对象过滤器的下游侧合流的旁通流路,

所述异物检测部设置在比所述旁通流路的合流位置靠所述流路的下游侧的位置,

所述控制部能够通过设置在所述流路上的阀的开闭,来选择是使液体通过所述对象过滤器还是使液体通过所述旁通流路,

在使液体通过所述对象过滤器的情况下,所述异物检测部检测通过所述对象过滤器之后的液体中包含的异物量,

在使液体通过所述旁通流路的情况下,所述异物检测部检测不通过所述对象过滤器的液体中包含的异物量。

3.如权利要求1所述的过滤器性能评价装置,其特征在于:

所述控制部能够基于分别供给了异物的含有状态彼此不同的多种液体时的各自的条件下的、不通过所述对象过滤器的液体中包含的异物量和通过所述对象过滤器之后的液体中包含的异物量,还计算所述对象过滤器的产尘性能,作为所述对象过滤器的性能。

4.如权利要求3所述的过滤器性能评价装置,其特征在于:

所述控制部预先保持用于根据分别供给了异物的含有状态彼此不同的多种液体时的各自的条件下的、不通过所述对象过滤器的液体中包含的异物量和通过所述对象过滤器之后的液体中包含的异物量,来计算所述异物捕集性能和所述产尘性能的相关模型,基于所述相关模型来求取所述异物捕集性能和所述产尘性能。

5.如权利要求1~4中任一项所述的过滤器性能评价装置,其特征在于:

所述异物含有状态调节部包括在比所述对象过滤器靠上游侧的位置分支为2个流路并且在比所述对象过滤器靠上游侧的位置合流的2个分支流路,能够使所述2个分支流路中的所述异物的含有状态彼此不同,

所述控制部能够通过设置在所述流路上的阀的开闭来选择所述2个分支流路中的供液体流动的流路。

6.如权利要求5所述的过滤器性能评价装置,其特征在于:

所述异物含有状态调节部包括仅设置在所述2个分支流路中的一个流路中的过滤器。

7.如权利要求1~4中任一项所述的过滤器性能评价装置,其特征在于:

所述控制部能够基于计算出的所述对象过滤器的所述性能来判断所述对象过滤器是否已劣化。

8.如权利要求1~4中任一项所述的过滤器性能评价装置,其特征在于:

所述控制部能够基于计算出的所述对象过滤器的所述性能来评价所述对象过滤器的润湿状态。

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