[发明专利]光波导元件、光调制器件与光发送装置

说明书

本发明提供一种光波导元件、光调制器件与光发送装置，抑制了频率特性的波谷现象，也抑制了制造成本的增加。光波导元件具有：基板(1)，具有电光效应；光波导(2)，形成于所述基板；以及控制电极，配置于所述基板(1)上，用于对所述光波导中传播的光波进行调制，且所述光波导元件的特征在于，所述控制电极具有信号电极(S)和接地电极，沿着所述光波导的进行调制的调制作用部分配置有所述信号电极(S)和所述接地电极，所述接地电极的与所述基板相向的底面的形状中，将所述接地电极分离为靠近所述信号电极(S)的第一接地电极(G1)与远离所述信号电极(S)的第二接地电极(G2)的狭缝(SL)形成于与所述调制作用部分对应的范围。

技术领域

本发明涉及一种光波导元件以及使用此光波导元件的光调制器件与光发送装置，特别涉及一种抑制了高频特性的波谷(dip)现象的光波导元件。

背景技术

在光测量技术领域或光通信技术领域中，多使用光调制器等使用形成有光波导的基板的光波导元件。近年来，为了应对移动通信的流量的增大，要求以更高频段(例如30GHz～300GHz)使用光调制器。

图1为表示以往的光波导元件的一例的截面图。图1中，在铌酸锂(LN)等的具有电光效应的基板1，使钛(Ti)等进行热扩散而形成光波导2。在基板1上，形成有用于对光波导施加电场的控制电极，具体而言，形成有信号电极S及以夹持此信号电极S的方式形成的接地电极G。

接地电极的下部呈向信号电极侧突出的形状。其原因在于，通过在光波导的附近缩窄信号电极与接地电极的间隔，从而增强对光波导施加的电场。另一方面其原因在于，电极上部通过扩大信号电极与接地电极的间隔，从而实现光波导中传播的光波、与信号电极中传播的微波的速度匹配，并且增加控制电极的阻抗，例如接近输入阻抗的50Ω。

而且，图1中通过减薄基板1的厚度，从而提高对光波导施加的电场效率。为了补强作为薄板的基板1的机械强度，经由胶粘层3接合有保持基板4。

将图1那样的光波导元件的频率特性示于图2。图2的横轴为对光波导元件施加的微波的频率，纵轴表示光波导元件的透过特性(S21)的损耗(插入损耗)。观看图2的频率特性，高频段中产生波形大幅度地凹陷(下降)的所谓波谷现象。

其原因在于，如图1那样，控制电极所形成的电场(电力线EF)不仅扩展至基板1，而且扩展至包含保持基板4的全体，对信号电极施加的高频的微波与基板内的共振模式(基板模式)结合。

专利文献1中公开了下述内容，即：为了抑制此种波谷(纹波(ripple))现象，在保持基板(补强基板)局部地形成低介电常数部。专利文献1所示的方法中，产生保持基板4的制造工序变复杂，而且制造成本增加等问题。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2019-174588号公报

[专利文献2]日本专利特开平5-196902号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

本发明所要解决的问题在于提供一种光波导元件，此光波导元件解决了如上所述的问题，抑制了频率特性的波谷现象，而且也抑制了制造成本的增加。而且，本发明提供一种利用所述光波导元件的光调制器件与光发送装置。

[解决问题的技术手段]

为了解决所述问题，本发明的光波导元件以及使用此光波导元件的光调制器件与光发送装置具有以下的技术特征。