[发明专利]一种可折卷的柔性钛金属部件的制造方法

说明书

本发明涉及电子设备技术领域，具体涉及一种可折卷的柔性钛金属部件的制造方法，包括步骤：钛金属板的压制与定型、导电接触部位Ni、Au电镀和图案蚀刻，本申请提供的制造方法，可以根据需求，方便、快捷、高效制造各种形状、多种形式、不同厚度的钛金属支撑配件及其他金属材质、非金属材质的、应用于卷曲显示装置及相关装置的配件，而且无需大幅度改变生产设备及生产工艺流程；且电镀金过程采用的电镀主液为中碱性无氰电镀体系、钛金属蚀刻体液也是较弱的酸性体系，电镀及蚀刻体系对生产环境的污染及生产后续废水处理工序简洁、方便回收和循环再利用，可以做到零污染排放，环境友好，具有良好到经济及环境效果，应用前景广阔。

技术领域

本发明涉及电子设备技术领域，特别是涉及一种可折卷的柔性钛金属部件的制造方法。

背景技术

随着时代的进步，现代各种电子设备的人工智能技术的飞速发展，这些设备的配件也随之需要更高的要求。如各种人工智能设备、移动设备等配备折叠折叠卷曲显示器件用于显示，如手机、笔记本、车载拉伸屏、卷轴屏、液晶电子时钟、军用折卷服装辅助显示等等。

其中用于显示支撑、导电板主要材料是金属或者合金材料，如将钛金钛或者合金属，应用在折叠卷曲显示器件中，但是该类材料容易产生老化或者腐蚀、密封性差、硬度低、易刮花的缺陷，应用时能否实现导电、厚度、硬度、重覆折叠、弯曲度等性能还有待考验。由于这两种盖板材质上优势和不足的缺陷，制造商普遍以复合型结构材料为主，提升产品的可靠性。

光化学蚀刻，其工艺原理是通过制版曝光、显影后，将蚀刻区域的保护膜除去，在蚀刻过程中使金属接触化学溶液，使用两个阳性图形通过从两面的化学蚀刻达到溶解腐蚀的作用，形成凹凸和镂空成型的效果。蚀刻工艺几乎能对所有的材质进行蚀刻，产品耐腐蚀、无应力形变、无毛刺等优势。

现有技术制造金属钛或钛合金(以下简称“钛金属”)制造柔性显示设备支撑部件通常经过三个主要制造工艺过程：第一，钛金属薄板的压制加工、第二，钛金属金属薄板的局部电镀、第三，钛金属薄板的图形蚀刻等。

超薄钛金属或钛合金薄板常用于制造柔性显示设备等的支撑部件，而金属钛及钛合金较为活泼，易于形成表面氧化层，缺乏导电性及焊接性，因此，用钛金属及钛合金制造的柔性显示部件的支撑背板，需经电镀导电、焊接电镀层Ni、Au镀层等。然而，现有技术制造的钛金属薄板应力作用及钛金属化学特性决定了其Ni、Au镀层的附着力较差，且镀层对应部位应力作用而发生应力释放变形，影响钛金属支撑部件的外形精密性。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供一种可折卷的柔性钛金属部件的制造方法，其工艺简单，有效解决了应力释放问题。

本发明采用的技术方案是：

一种可折卷的柔性钛金属部件的制造方法，包括如下步骤：

S1.钛金属板的压制与定型

将钛金属厚板置于NTS溶液中，浸泡3～10秒，之后清洗；

接着置于N₂-Ar惰性气体环境、550～750℃的温度条件下，静止压制到设定厚度，并保持30-120秒；

之后自然冷却，涂膜光固化涂料、定影、显影；

S2.导电接触部位Ni、Au电镀

将S1中的钛金属板依次进行去油、活化、电镀镍、AAB无氰电镀液中电镀金、清洗、后保护、清除固化涂料、清洗、干燥；

S3.图案蚀刻

在S2中的钛金属板用光敏涂料涂膜、菲林胶片激光定影、化学显影、LFGG蚀刻液中蚀刻、去光敏膜、洗涤、烘干、去边，得到成品；

其中，步骤S1中所述NTS溶液为镍盐、铜盐的稀酸混合溶液；