[发明专利]一种六自由度高精度宏微并联调整平台

说明书

本发明公开了一种六自由度高精度宏微并联调整平台，其包括宏动平台A和微动平台B，宏动平台A具有宏动动平台和平行设置在宏动动平台下方的宏动定平台、连接宏动动平台和宏动定平台之间的六个宏动驱动支腿，微动平台B设置在宏动平台A上部；微动平台B具有平行设置在宏动动平台上方的微动动平台；宏动动平台下部形成有与宏动动平台平行的承载平台，承载平台和微动动平台之间连接有六个微动驱动支腿，从而使宏动动平台形成微动平台B的微动定平台；每个微动驱动支腿端部均通过柔性铰链与微动动平台和承载平台连接，本发明采用宏动与微动两种模式来实现空间六自由度的精密指向功能，具有工作空间大、承载能力强、精度高以及独立控制的有益效果。

技术领域

本发明涉及精密调整平台技术领域，尤其涉及一种六自由度高精度宏微并联调整平台。

背景技术

并联机构是航空航天以及工业生产中常使用的一种机械结构。在航空航天领域，随着科学技术的发展以及航天要求的提高，航天器也向着复杂化、精密化等方向发展。因此对于应用并联机构的航天器，并联机构的调整精度也需要越来越高。不仅在航空航天领域，在工业等其他领域，如扫描探针显微镜的样品扫描台、微纳操作以及精密加工中，具有高调整精度的六自由度并联机构会给其产品的制造带来可靠性、安全性。

目前，并联机构中丝杠传动的精度局限在微米级，难以完成一些高精密操作任务，为了使得平台纳米级调整能力同时保持高分辨率的目标，因此需要设计一个精度更高的并联调整平台。而六自由度并联机构具有空间六自由度运动能力，可以实现大范围运动也能够实现小位移、小角度运动，其具有高精度、高刚度和高承载能力的特点，能够实现精密调整，同时可以抵抗振动、重力等因素引起的变形，然而仅靠这些还不足以使平台达到纳米级的调整，因此需要考虑新的微调机构，在Gough-Stewart平台的基础上进行设计，增加微调机构，以提高平台调整精度。

虽然，对于精度要求不高的机构，一些振动幅值较小的微振动不会产生明显的影响，因此可以忽略它影响。但随着对设备以及各类机构要求的不断提高，尤其当设计的机构需要用以产生、测量微小精密量时，带有敏感器件的仪器对微小振动也极为敏感。尽管是幅值较小的微振动，也会严重影响设备的精度、稳定度以及分辨率等重要的性能指标；

因此，基于上述问题，本领域技术人员亟需设计一种六自由度高精度宏微并联调整平台，来完成精密调整工作，克服一些场合需要高精密驱动或工作的问题。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种六自由度高精度宏微并联调整平台。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

本发明公开的一种六自由度高精度宏微并联调整平台，包括：

宏动平台A，其具有宏动动平台和平行设置在所述宏动动平台下方的宏动定平台、以及连接所述宏动动平台和所述宏动定平台之间的六个宏动驱动支腿；

还包括微动平台B，其设置在所述宏动平台A上部；

所述微动平台B具有平行设置在所述宏动动平台上方的微动动平台；

其中，所述宏动动平台下部形成有与所述宏动动平台平行的承载平台，所述承载平台和所述微动动平台之间连接有六个微动驱动支腿，从而使所述宏动动平台形成所述微动平台B的微动定平台；

其中，每个所述微动驱动支腿端部均通过柔性铰链与所述微动动平台和所述承载平台连接。

进一步的，所述宏动动平台下表面形成有所述承载平台，所述承载平台朝向所述宏动定平台方向延伸。

进一步的，所述宏动动平台的构造为圆盘体结构，其下表面周向均布有三个所述承载平台，每个所述承载平台连接有两个所述微动驱动支腿。

进一步的，所述宏动动平台边缘位置开设有用于避让所述微动驱动支腿的豁口。