[发明专利]一种基于PDMS-硅纳米膜的柔性心音传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种基于PDMS－硅纳米膜的柔性心音传感器，其特征在于：包括柔性电极衬底和多孔PDMS介电薄膜，所述柔性电极衬底的数量为两个，且两个柔性电极衬底分别封装在多孔PDMS介电薄膜的两面。

2.一种根据权利要求1所述的一种基于PDMS－硅纳米膜的柔性心音传感器的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：

S1、取柔性衬底PET-ITO和多孔PDMS介电薄膜，将取柔性衬底PET-ITO去离子水冲洗后用氮气吹干，保证衬底的洁净；

S2、在柔性衬底PET-ITO的顶部旋涂正性光刻胶；

S3、将步骤S2中旋涂正性光刻胶的柔性衬底PET-ITO置于匀胶机中；

S4、将步骤S3的匀胶机中取出柔性衬底PET-ITO，并将其放置在烘干台上烘干；

S5、将步骤S4中烘干后的柔性衬底PET-ITO置于光刻机内进行曝光；

S6、将步骤S5中曝光后的柔性衬底PET-ITO进行电解坚膜处理；

S7、将步骤S6中经过坚膜处理后的柔性衬底PET-ITO用正交显影液进行显影处理，显影时间为45s，将得到的样品置于混合溶液中，反应时间为1～3min；

S8、将步骤S7中得到的样品用去离子水清洗后，将腐蚀完毕的样品置于乙醇中，去除多余的光刻胶，得到柔性电极衬底；

S9、将步骤S8得到的两片柔性电极衬底和步骤S1中的多孔PDMS介电薄膜进行封装，并使多孔PDMS介电薄膜位于两片柔性电极衬底之间，并在柔性衬底的两侧打印电极，完成柔性心音传感器的制备。

3.根据权利要求2所述的一种基于PDMS－硅纳米膜的柔性心音传感器的制备方法，其特征在于：所述步骤S3中匀胶机的转速设置为：

先以500r/min慢速运行5s，之后以2500r/min快速运行30s。

4.根据权利要求2所述的一种基于PDMS－硅纳米膜的柔性心音传感器的制备方法，其特征在于：所述步骤S4中烘干台的温度为105℃，且烘干时间为2min。

5.根据权利要求2所述的一种基于PDMS－硅纳米膜的柔性心音传感器的制备方法，其特征在于：所述步骤S5中光刻机的型号为EVG610，且光刻机的曝光剂量设置为80mJ。

6.根据权利要求2所述的一种基于PDMS－硅纳米膜的柔性心音传感器的制备方法，其特征在于：所述步骤S6中坚膜处理的温度为115℃，且坚膜处理的时间为2min。

7.根据权利要求2所述的一种基于PDMS－硅纳米膜的柔性心音传感器的制备方法，其特征在于：所述步骤S7中混合溶液中成分体积比为HNO₃:HCl:H₂O＝3:50:50。

8.根据权利要求2所述的一种基于PDMS－硅纳米膜的柔性心音传感器的制备方法，其特征在于：所述步骤S1中多孔PDMS介电薄膜由小于1μm的PDMS溶液以5000r/min的转速旋涂于PET基板上的，之后放置于80～120℃的烘箱中固化30min制得。