[发明专利]方阻测量装置

说明书

本申请公开了一种方阻测量装置，涉及半导体技术领域，所述装置包括：发射光纤、接收光纤和测量组件；所述发射光纤，用于将光源发出的发射光传输至目标电池片；所述接收光纤，用于接收经过所述目标电池片之后的接收光，并将接收到的接收光传输至所述测量组件；所述测量组件，用于根据接收到的所述接收光计算所述目标电池片的方阻。解决了现有技术中方阻测量成本较高且可能会损伤被测电池片的问题，达到了可以通过上述方阻测量装置实现无接触式测量，降低方阻测量成本减少对电池片的损伤的效果。

技术领域

本发明涉及一种方阻测量装置，属于半导体技术领域。

背景技术

光伏电池片制造过程中，一个关键工序是扩散，扩散的目的是形成PN结，扩散质量的高低直接影响电池的品质等级，而衡量扩散效果的关键指标为电池片的方阻。

现有的方阻测量方法为四探针法，然而四探针法在测量过程中探针需要按压在电池片表面，会对电池片造成一定程度的损伤，而且四探针法所用的探头属于易耗品，需要定期更换，因此现有方案中，方阻测量的成本较高且会损伤被检测的电池片。

发明内容

本发明的目的在于提供一种方阻测量装置，用于解决现有技术中存在的问题。

为达到上述目的，本发明提供如下技术方案：

根据第一方面，本发明实施例提供了一种方阻测量装置，所述装置包括：发射光纤、接收光纤和测量组件；

所述发射光纤，用于将光源发出的发射光传输至目标电池片；

所述接收光纤，用于接收经过所述目标电池片之后的接收光，并将接收到的接收光传输至所述测量组件；

所述测量组件，用于根据接收到的所述接收光计算所述目标电池片的方阻。

可选地，所述装置还包括分光器和n个测量光纤；n为大于1的整数；

所述发射光纤，用于将所述光源发出的发射光传输至所述分光器；

所述分光器，用于将接收到的发射光分成n路，并将每路发射光传输至对应的一个测量光纤，所述n路发射光的发射方向相互平行；

每个测量光纤，用于将接收到的发射光传输至所述目标电池片，接收经过所述目标电池片反射之后的接收光，并将所述接收光传输至每个测量光纤对应的接收光纤；其中，n个测量光纤将n路发射光传输至所述目标电池片的N个位置。

可选地，所述分光器包括N个分光镜和M个平面镜，N和M为正整数；其中：

每个分光镜，用于将接收到的光分成一路反射光和一路透射光；其中，第1个分光镜接收到的光为所述发射光纤传输的光，第k个分光镜接收到的光为第k-1个分光镜分光得到的反射光或者透射光；k为大于1的整数；

每个平面镜，用于对来自所述分光镜的光进行反射。

可选地，所述分光镜为半透半反镜。

可选地，所述测量光纤包括由内到外依次设置的i股发射光纤、隔离层、j股接收光纤和保护层，i和j为正整数；

所述隔离层，用于隔离所述i股发射光纤和所述j股接收光纤；

所述j股接收光纤，环周设置在所述隔离层的外围；

所述保护层，用于包裹所述j股接收光纤。

可选地，所述i大于第一阈值，所述j大于第二阈值。

可选地，所述测量光纤中的发射光纤的直径是所述测量光纤中的接收光纤的直径的预设倍数。

可选地，所述测量组件包括接收模块和信号处理模块；

所述接收模块，用于接收所述接收光纤传输的接收光；