[发明专利]一种集成式多单元节能吸附装置在审

专利信息
申请号: 202211080449.4 申请日: 2022-09-05
公开(公告)号: CN115394704A 公开(公告)日: 2022-11-25
发明(设计)人: 马久军;冯雅男;张怀建;温立 申请(专利权)人: 南京英锐创电子科技有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/67;G01R1/02
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 郑粟文
地址: 211899 江苏省南京市江北*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 集成 单元 节能 吸附 装置
【说明书】:

发明公开了一种集成式多单元节能吸附装置,包括气密腔壳、气路快接头、吸嘴组件和控制单元,气密腔壳的顶板上设置有气路快接头、底板上设置有若干个吸嘴组件,气路快接头用于连接气源管路,控制单元设置于底板的内表面上,每个吸嘴组件均与控制单元电连接且能够自动启闭,气路快接头和吸嘴组件均能够与气密腔壳的内腔连通。本发明利用气密腔壳实现集中式供气,可实现一对多的吸嘴组合,每个吸嘴组件均可以单独控制启闭,可以应对多种组合的使用场景,单个气路接口均可实现掉落检测;整个吸附模块结构紧凑、布局合理、安装方便,可实现快速整套替换,便于高效维护,适用范围广。

技术领域

本发明涉及吸附模块的技术领域,特别是涉及一种集成式多单元节能吸附装置。

背景技术

芯片国产化的大的行业趋势背景下,芯片自动化测试产线国产化需求也越来越强烈。吸嘴结构是芯片自动化测试产线的一个重要组成部分,集成式多单元节能吸嘴是其中的一种,主要用于对执行多数量较多的芯片搬运场景,如芯片全功能测试产线。通过吸附式全方位移动测试平台能实现水平、竖直、倒挂等各个方向的移动,增加执行机构的运动范围,保证执行结构的位置可达。

现有较多关于芯片全方位移动的平台装置,但是其核心抓取结构均未采用模块化设计方案,拆装和维护比较困难,产品灵活性差,设计周期长,且现有方案耗气量大,对整个设备使用场景的气源有很大要求,甚至会影响到使用同气源的其它设备正常运作,对整个作业环境的要求提出特殊的使用要求。

综上所述,现有芯片全方位移动平台各个动作均为单独设计,没有采用模块化设计方案,拆装维护不方便,使用时耗气量大,使用不够灵活,无法根据不同的使用要求进行模块化可复制式的调整。因此,设计一种集成式多单元节能吸附模块,可以根据不同的应用场合,按照需求,快速定位安装到移动平台上,实现移动平台的快速设计、安装和调试的方案应运而生。

发明内容

本发明的目的是提供一种集成式多单元节能吸附装置,以解决上述现有技术存在的问题,使集中式供气实现一对多的吸嘴组合,每个吸嘴组件均可以单独控制掉落检测和启闭。

为实现上述目的,本发明提供了如下方案:

本发明提供了一种集成式多单元节能吸附装置,包括气密腔壳、气路快接头、吸嘴组件和控制单元,所述气密腔壳的顶板上设置有所述气路快接头、底板上设置有若干个所述吸嘴组件,所述气路快接头用于连接气源管路,所述控制单元设置于所述底板的内表面上,每个所述吸嘴组件均与所述控制单元电连接且能够自动启闭,所述气路快接头和所述吸嘴组件均能够与所述气密腔壳的内腔连通。

优选的,所述吸嘴组件包括吸嘴、电磁阀和压力传感器,所述吸嘴上设置有所述电磁阀和所述压力传感器,所述电磁阀和所述压力传感器分别与所述控制单元电连接。

优选的,所述电磁阀为气动电磁阀。

优选的,所述吸嘴设置有适用不同产品的各种型号。

优选的,所述气源管路上连接有真空发生器。

优选的,若干个所述集成式多单元节能吸附装置的所述气密腔壳能够拼接。

本发明相对于现有技术取得了以下技术效果:

本发明利用气密腔壳实现集中式供气,可实现一对多的吸嘴组合,每个吸嘴组件均可以单独控制启闭,可以应对多种组合的使用场景,单个气路接口均可实现掉落检测;整个吸附模块结构紧凑、布局合理、安装方便,可实现快速整套替换,便于高效维护,适用范围广。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明集成式多单元节能吸附装置的结构示意图;

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