[发明专利]光学玻璃重组母板制备工艺

说明书

本发明公开了一种光学玻璃重组母板制备工艺。本发明使用压纹工艺技术和玻璃镜片重组技术制作的母板结合了光学镜片，垫片及遮挡层构造为一体。而且应用玻璃镜片直接制造出光学镜片母板也会降低镜头形状的误差性和增加光学镜片母板性能的稳定性及均匀性；本发明光学玻璃重组母板制备工艺降低了制作成本，简化了制作工艺，制作出的母板应用可大批量生产出高精度的光学模组。

技术领域

本发明涉及一种使用压纹工艺技术和玻璃镜片重组技术制作母板的工艺技术，尤其涉及一种光学玻璃重组母板制备工艺，该应用适合于大批量生产的高精度微光学模组封装及高精度微电子晶圆封装用母板的制作。

背景技术

对于微光学模组封装及微电子晶圆封装用母板，市面上较普遍的图形化方式主要为：紫外曝光机利用光刻胶对紫外线的敏感性，结合预设的掩模版，将图案转移至所需的光刻胶材料后制成带有垫片构造及遮挡层构造的母板；还是应用单点金刚石车削技术SPDT制造出单一的镜片，再用单一镜片以纳米压印的技术来反复的复制出光学镜片母板。如果产品要求的是光学镜片带有垫片构造及遮挡层构造的母板，传统工艺的制作是非常困难的，而且通常设备与器件的价格昂贵、工艺制程也繁琐。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明设计了一种光学玻璃重组母板制备工艺。

本发明采用如下技术方案：

一种光学玻璃重组母板制备工艺，其工艺步骤为：

S1、玻璃基板预处理：将玻璃切割至正方形的玻璃基板，上下表面做抛光处理；

S2、镜片腔体制作：在抛光后的玻璃基板上开设出呈阵列排布均匀分布的镜片腔体；

S3、工作模具装配：制作工作模具，将开设出镜片腔体的玻璃基板放入工作模具中进行对位装配成套；

S4、注胶压印及固化成型：将装配成套的工作模具加载到自动压印封装机进行注胶压印成型，在玻璃基板上镜片腔体的外沿一圈注胶压印黑色的环氧树脂胶，并利用紫外线结合高温烘烤的方式将胶液固化，形成与玻璃基板一体固定连接的垫片及遮挡层；

S5、工作模具脱模：将高温烘烤胶液固化后的成套工作模具从烤箱中卸下进行冷却，将封装后的母板从工作模具中脱模；

S6、玻璃镜片点胶：提取玻璃镜片，在玻璃镜片的背面点上粘接胶；

S7、玻璃镜片建成：用移栽机将带有粘接胶的玻璃镜片放置在母板的镜片腔体中粘结固定，来完成玻璃镜片建成；

S8、玻璃镜片点胶及玻璃镜片建成步骤重复循环：重复循环玻璃镜片点胶及玻璃镜片建成步骤直到完成母板全布局的玻璃镜片建成；

S9、热烘烤：将完成玻璃镜片建成的母板放入烤箱进行热烘烤，烘烤后取出完成整个光学玻璃重组母板制备工艺。

作为优选，所述工作模具包括上模具和下模具，上模具下安装有上模板，下模具上安装有下模板，下模板上内凹设置与玻璃基板匹配安装的槽，上模板底部对应玻璃基板上镜片腔体的外沿一圈内凹设置有对应垫片及遮挡层的注胶槽，下模具和上模板上设置有注胶孔，注胶孔连通注胶槽。

作为优选，步骤S1中，上下表面抛光至：TTV≤1um。

作为优选，步骤S2中，镜片腔体通过激光刻蚀的方式开设。

作为优选，步骤S4中，紫外线结合高温烘烤的工艺条件为：紫外线UV365nm，10分钟照射；120°C烘烤，20分钟。

作为优选，步骤S5中，冷却工艺条件为：室温冷却，20分钟。

作为优选，步骤S9中，热烘烤工艺条件为：85°C烘烤，120分钟。