[发明专利]基于钛酸锶复合材料的太赫兹吸波器与制备方法

权利要求书

1.一种基于钛酸锶复合材料的太赫兹吸波器，其特征在于，包括：

玻璃衬底(1)；

ITO薄膜(2)，所述ITO薄膜生长于玻璃衬底(1)之上；

介质超表面结构层(3)，所述介质超表面结构层位于ITO薄膜之上；

其中，所述介质超表面结构层由钛酸锶微粒和掺有金纳米颗粒的PDMS复合得到，其中钛酸锶微粒均匀分散于掺有金纳米颗粒的PDMS中，金纳米颗粒、钛酸锶微粒和PDMS的质量比为0.01：132：46；

所述介质超表面结构层采用周期性排列的圆柱阵列结构，圆柱的半径为25～75μm，高度为50～100μm，相邻圆柱中心间距为200～300μm。

2.根据权利要求1所述的基于钛酸锶复合材料的太赫兹吸波器，其特征在于，所述玻璃衬底为钙钠玻璃、石英玻璃或硼硅酸玻璃，厚度为1000～2000μm。

3.根据权利要求1所述的基于钛酸锶复合材料的太赫兹吸波器，其特征在于，所述ITO薄膜的厚度为0.36～0.4μm。

4.一种基于钛酸锶复合材料的太赫兹吸波器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、钛酸锶复合油墨的制备：

1.1按照10:3的质量比混合PDMS基质与交联剂，搅拌，得到PDMS预聚物；

1.2在步骤1.1得到的PDMS预聚物中加入浓度为0.008～0.012mol/L的四氯金酸盐溶液，其中PDMS预聚物与四氯金酸盐溶液的质量比为9：1，搅拌混合均匀后，采用真空泵抽除内部气泡，得到掺有金纳米颗粒的PDMS胶质；

1.3在步骤1.2得到的掺有金纳米颗粒的PDMS胶质中加入钛酸锶微粒，搅拌混合均匀，得到钛酸锶复合油墨；其中，钛酸锶微粒和掺有金纳米颗粒的PDMS胶质的体积比为4：6；

步骤2、模版印刷超表面结构：

2.1将全氟癸基三乙氧基硅烷溶解于无水乙醇中，配制得到体积浓度为1％的氟硅烷溶液；

2.2将带介质超表面结构层图案的不锈钢模具浸泡于步骤2.1得到的氟硅烷溶液中，再烘干固化；

2.3将步骤2.2烘干固化后的不锈钢模具固定于带ITO薄膜的玻璃衬底上，倒入步骤1得到的钛酸锶复合油墨印刷后进行热烘固化，得到图形化的钛酸锶复合材料；

2.4取下模具，即可得到所述基于钛酸锶复合材料的太赫兹吸波器。

5.根据权利要求4所述的基于钛酸锶复合材料的太赫兹吸波器的制备方法，其特征在于，步骤1.3中加入的钛酸锶微粒的粒径为1～5μm。

6.根据权利要求4所述的基于钛酸锶复合材料的太赫兹吸波器的制备方法，其特征在于，步骤2.2中，浸泡时间为1～2h，烘干固化的温度为120℃，烘干固化的时间为2h。

7.根据权利要求4所述的基于钛酸锶复合材料的太赫兹吸波器的制备方法，其特征在于，步骤2.3中，热烘固化的温度为65℃，时间不低于2h。