[发明专利]一种晶圆键合强度的检测装置

权利要求书

1.一种晶圆键合强度的检测装置，其特征在于，包括：

相机，设置于晶圆的上方，用于获取所述晶圆的正面图像；

光源，设置于所述晶圆的下方，用于向所述晶圆的背面提供光照；以及

透镜组件，设置于所述光源和所述晶圆之间，用于扩散所述光源在所述晶圆的背面的光照范围。

2.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述透镜组件包括第一透镜组件、匀光器件和第二透镜组件，其中所述第一透镜组件将所述光源的原始光线汇聚至所述匀光器件的入口端，所述第二透镜组件对所述匀光器件的出口端输出的窄束光线进行扩束并将其引导至所述晶圆的背面。

3.如权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述第一透镜组件包括第一透镜和第二透镜，所述第一透镜设置于所述第二透镜之前，对所述光源的原始光线进行准直调整以使其平行进入所述第二透镜，所述第二透镜将进入的平行光汇聚至所述匀光器件的入口端。

4.如权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述第二透镜组件包括第三透镜和第四透镜，所述第三透镜设置于所述第四透镜之前，对所述匀光器件的出口端输出的窄束光线进行扩散并将其引导至所述第四透镜，所述第四透镜对所述第三透镜提供的扩散光线进行准直调整，以获得平行的扩束光线并将其引导至所述晶圆的背面。

5.如权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述匀光器件为熔融石英导光管。

6.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述透镜组件和所述晶圆之间设有光阑，以过滤所述透镜组件扩散出的边缘杂散光。

7.如权利要求1或6所述的检测装置，其特征在于，还包括菲涅尔透镜，所述菲涅尔透镜设置于所述晶圆的背面并承托所述晶圆，以对所述透镜组件发出的扩散光线进行二次匀光。

8.如权利要求7所述的检测装置，其特征在于，还包括卡盘，所述卡盘设置于所述菲涅尔透镜上，用于固定所述晶圆。

9.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述相机和其镜头之间包括滤光片。

10.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括插刀组件，用以给所述晶圆插刀，以获得待检测的插刀后的所述晶圆。