[发明专利]一种环保型复合气相缓蚀剂及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202210901452.1 申请日: 2022-07-28
公开(公告)号: CN115110082A 公开(公告)日: 2022-09-27
发明(设计)人: 陈甜甜;姚建涛;张贵泉;刘薇 申请(专利权)人: 西安热工研究院有限公司
主分类号: C23F11/02 分类号: C23F11/02
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 姚咏华
地址: 710048 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 环保 复合 气相缓蚀剂 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种环保型复合气相缓蚀剂,其特征在于,以复合气相缓蚀剂的重量计,所述缓蚀剂包括如下组分:环己胺类缓蚀剂55~70wt%、增效剂20-40wt%、缓蚀助剂5-10wt%,各组分的重量之和为100%。

2.根据权利要求1所述的一种环保型复合气相缓蚀剂,其特征在于,所述环己胺类缓蚀剂为碳酸环己胺、磷酸环己胺或苯甲酸二环己胺中的一种或几种任意配比的混合物。

3.根据权利要求1所述的一种环保型复合气相缓蚀剂,其特征在于,所述增效剂由苯甲酸钠、六次甲基四胺和磷酸铵组成。

4.根据权利要求3所述的一种环保型复合气相缓蚀剂,其特征在于,所述苯甲酸钠、六次甲基四胺和磷酸铵按照1:1.5:2的质量比复配而成。

5.根据权利要求1所述的一种环保型复合气相缓蚀剂,其特征在于,所述缓蚀助剂为十八胺、十六胺或苯并三氮唑中的一种或几种任意配比的混合物。

6.采用权利要求1至5任意一项所述的环保型复合气相缓蚀剂的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括如下步骤:

S1:取缓蚀助剂,升温至40~70℃;

S2:加入环己胺类缓蚀剂和增效剂,混合均匀,即得到复合气相缓蚀剂。

7.根据权利要求6所述的气相缓蚀剂的制备方法,其特征在于,所述气相缓蚀剂在40~70℃、NaCl腐蚀介质条件下,反应72h缓蚀率平均为91.8%。

8.根据权利要求6所述的气相缓蚀剂的制备方法,其特征在于,所述S2中,所述混合均匀采用集热式恒温加热磁力搅拌器混合。

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