[发明专利]一种微测辐射热计、制作方法及红外探测器

说明书

本发明公开一种微测辐射热计、制作方法及红外探测器，涉及红外探测技术领域，以解决现有微桥结构的热敏感有效探测面积比较小，且桥腿力学结构不稳定的问题。所述微测辐射热计、制作方法及红外探测器包括：衬底、热敏探测层以及两个桥腿。所述微测辐射热计还包括形成在所述热敏探测层的向光面的超表面结构，所述超表面结构用于将照射所述热敏探测层的红外光波转换为表面波，所述桥腿包括导电夹层和两个绝缘层，沿着所述桥腿的径向方向，所述导电夹层位于两个所述绝缘层之间。所述制作方法用于制作微测辐射热计。本发明提供的微测辐射热计还用于红外探测。

技术领域

本发明涉及一种微测辐射热计，尤其涉及一种微测辐射热计、制作方法及红外探测器。

背景技术

微测辐射热计型非制冷红外探测器数十年来都是大力研究和发展的主题，微测辐射热计型非制冷红外探测器以其易携带、性能卓越、成本低廉等优点，具有广泛的军事和民用前景。

目前，微测辐射热计大多采用传统单牺牲层微桥结构，而在单牺牲层微桥结构的热敏感有效探测面积比较小，且桥腿力学结构不稳定。近年来有提出多层结构的微测辐射热计，使得这些问题得到缓解，但是多层结构的制作工艺复杂，力学性能并不能得到有效的改善。

发明内容

本发明提供一种微测辐射热计、制作方法及红外探测器，以使得微测辐射热计的像元中心的热敏感有效探测区域所占比例增大的同时，改善桥腿的力学性能，从而保证微测辐射热计具有良好的结构稳定性和红外吸收性能。

为了实现上述目的，本发明提供了一种微测辐射热计，包括：衬底、热敏探测层以及两个桥腿，两个桥腿均形成在衬底与所述热敏探测层之间，衬底与热敏探测层之间形成谐振腔；

其中，微测辐射热计还包括形成在热敏探测层的向光面的超表面结构，超表面结构用于将照射在光波转换为表面波，桥腿包括绝缘层以及导电夹层。

与现有技术相比，本发明提供的微测辐射热计中，两个桥腿均形成在衬底与热敏探测层之间，使得桥腿不占据热敏探测层吸收面，从而增大微测辐射热计的红外吸收面积，可以保证微测辐射热可以吸收更多的红外光。在此基础上，在热敏探测层表面形成超表面结构，当利用微测辐射热计进行红外光探测时，超表面结构可以将照射在光波转换为表面波，从而提高红外吸收效率，进而保证热敏探测层有较高的吸收率，使得微测辐射热计具有良好的探测效果。另外，本发明提供的微测辐射热计中，桥腿包括两个绝缘层以及设在两个绝缘层之间导电夹层，导电夹层具有良好的电学性能，而两个绝缘层可以作为支撑结构，不仅使得桥腿的力学性能更加稳定，还可以对导电夹层具有一定的固定作用，使得导电夹层可以稳定的进行电信号传输。

本发明还提供了一种本发明技术方案所述微测辐射热计的制作方法，包括：

提供一衬底；

在所述衬底上方形成贯穿反射层的两个桥腿，所述桥腿包括两个绝缘层以及设在两个所述绝缘层之间导电夹层；

在两个所述桥腿上形成热敏探测层，所述衬底与所述热敏探测层之间形成谐振腔；

在所述热敏探测层的向光表面形成超表面结构。

与现有技术相比，本发明提供的微测辐射热计的制作方法具有的有益效果与上述提供的微测辐射热计的有益效果相同，在此不做赘述。

本发明还提供一种红外探测器，包括上述方案提供的微测辐射热计。

与现有技术相比，本发明提供的红外探测器具有的有益效果与上述提供的微测辐射热计的有益效果相同，在此不做赘述。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1示出了现有技术中单层微桥结构微测辐射热计的结构示意图；