[发明专利]一种蒸镀机台复机方法

权利要求书

1.一种蒸镀机台复机方法，其特征在于，包括步骤：

将蒸镀机台抽真空至第一预设真空度后，对所述蒸镀机台使用铬及铝铜合金进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台，并对所述覆盖后的蒸镀机台进行质量验证，得到验证结果；

若所述验证结果为正常，则执行量产操作。

2.根据权利要求1所述的一种蒸镀机台复机方法，其特征在于，所述将蒸镀机台抽真空至第一预设真空度后，对所述蒸镀机台使用铬及铝铜合金进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台之前包括步骤：

将所述蒸镀机台抽真空至第二预设真空度后，按照150℃～250℃的烘烤温度以及1H～3H的烘烤时间对所述蒸镀机台的腔体进行烘烤，得到烘烤后的蒸镀机台；

所述将蒸镀机台抽真空至第一预设真空度后，对所述蒸镀机台使用铬及铝铜合金进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台包括：

将所述烘烤后的蒸镀机台抽真空至第一预设真空度后，对所述烘烤后的蒸镀机台使用铬及铝铜合金进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台。

3.根据权利要求2所述的一种蒸镀机台复机方法，其特征在于，将所述第二预设真空度设置为1.0E-5Torr～5.0E-5Torr。

4.根据权利要求2所述的一种蒸镀机台复机方法，其特征在于，所述将所述烘烤后的蒸镀机台抽真空至第一预设真空度后，对所述烘烤后的蒸镀机台使用铬及铝铜合金进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台包括：

将所述烘烤后的蒸镀机台抽真空至第一预设真空度后，对所述烘烤后的蒸镀机台使用铬按照的厚度以及的镀率进行覆盖，得到覆盖铬后的蒸镀机台；

对所述覆盖铬后的蒸镀机台使用铝铜合金按照的厚度以及的镀率进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台。

5.根据权利要求1所述的一种蒸镀机台复机方法，其特征在于，所述对所述覆盖后的蒸镀机台进行质量验证，得到验证结果包括：

将所述覆盖后的蒸镀机台抽真空至第三预设真空度后，对所述覆盖后的蒸镀机台进行质量验证，得到验证结果。

6.根据权利要求5所述的一种蒸镀机台复机方法，其特征在于，将所述第三预设真空度设置为3.0E-6Torr。

7.根据权利要求1所述的一种蒸镀机台复机方法，其特征在于，所述对所述覆盖后的蒸镀机台进行质量验证，得到验证结果包括：

使用所述覆盖后的蒸镀机台对测试产品进行蒸镀，得到蒸镀后的测试产品；

按照预设验证标准判断所述蒸镀后的测试产品是否符合要求，若是，则确定所述验证结果为正常，若否，则确定所述验证结果为异常。

8.根据权利要求1所述的一种蒸镀机台复机方法，其特征在于，所述若所述验证结果为正常，则执行量产操作包括：

当所述验证结果为正常，对所述蒸镀机台中的所述铝铜合金按照40％～42％的预熔功率以及20s～40s的预熔时间进行预熔，得到预熔后的蒸镀机台；

将所述预熔后的蒸镀机台按照的镀率上升幅度以及40s的镀率上升时间起镀，直至所述铝铜合金的镀率稳定在

9.根据权利要求8所述的一种蒸镀机台复机方法，其特征在于，所述对所述蒸镀机台中的所述铝铜合金按照40％～42％的预熔功率以及20s～40s的预熔时间进行预熔，得到预熔后的蒸镀机台包括：

将所述蒸镀机台抽真空至1.0E-6Torr后，对所述蒸镀机台中的所述铝铜合金按照40％～42％的预熔功率以及20s～40s的预熔时间进行预熔，得到预熔后的蒸镀机台。

10.根据权利要求8所述的一种蒸镀机台复机方法，其特征在于，所述对所述蒸镀机台中的所述铝铜合金按照40％～42％的预熔功率以及20s～40s的预熔时间进行预熔，得到预熔后的蒸镀机台包括：

关闭所述蒸镀机台的挡板，并对所述蒸镀机台中的所述铝铜合金按照40％～42％的预熔功率以及20s～40s的预熔时间进行预熔，得到预熔后的蒸镀机台；

所述将所述预熔后的蒸镀机台按照的镀率上升幅度以及40s的镀率上升时间起镀，直至所述铝铜合金的镀率稳定在包括：

打开所述挡板，并将所述预熔后的蒸镀机台按照的镀率上升幅度以及40s的镀率上升时间起镀，直至所述铝铜合金的镀率稳定在