[发明专利]多晶硅还原炉用石墨组件及其使用方法

权利要求书

1.一种多晶硅还原炉用石墨组件，其特征在于，包括：

夹持体，中部设置有贯穿的硅芯安装孔，用于固定硅芯；

石墨基座，一侧端面与电极相接，另一侧端面与所述夹持体相接，且与硅芯的一侧端部抵接；

紧固件，中部设有固定孔，所述固定孔的下端套设在所述石墨基座上，所述固定孔的中部抵接在所述夹持体的侧面，以将所述夹持体固定在所述石墨基座上。

2.如权利要求1所述的多晶硅还原炉用石墨组件，其特征在于，

所述夹持体的侧面与所述固定孔的中部具有倾斜的接触面。

3.如权利要求2所述的多晶硅还原炉用石墨组件，其特征在于，

所述夹持体包括至少两个瓣体，相邻所述瓣体间设有收缩缝；其中，

当所述固定孔紧抵在所述夹持体的侧面时，所述收缩缝逐渐变小，同时所述硅芯安装孔的尺寸变小。

4.如权利要求1所述的多晶硅还原炉用石墨组件，其特征在于，

所述夹持体的远离所述石墨基座的一侧的顶部为平面或者锥面。

5.如权利要求1所述的多晶硅还原炉用石墨组件，其特征在于，

所述硅芯安装孔为方孔、圆孔或者锥孔。

6.如权利要求1所述的多晶硅还原炉用石墨组件，其特征在于，

所述石墨基座的一端设有可嵌设所述电极的安装槽。

7.如权利要求1所述的多晶硅还原炉用石墨组件，其特征在于，

所述石墨基座为圆柱形，其外周螺纹连接在所述固定孔的下端。

8.一种多晶硅还原炉用石墨组件的使用方法，应用于如权利要求1至7中任一项所述的多晶硅还原炉用石墨组件，其特征在于，包括：

将电极固定在还原炉底盘的电极孔内，石墨基座套设在所述电极上；

夹持体设置在所述石墨基座上，紧固件套设在所述夹持体上并连接在所述石墨基座上，同时，将硅芯插置在硅芯安装孔内与石墨基座抵接，旋紧紧固件，使夹持体固定设置于石墨基座的表面。

9.如权利要求8所述的多晶硅还原炉用石墨组件的使用方法，其特征在于，还包括：当硅芯生长完成后，将硅芯长大后的硅棒与紧固件分离。