[发明专利]晶片电阻的内电极缺陷检测结构以及缺陷电阻的筛选方法在审

专利信息
申请号: 202210725787.2 申请日: 2022-06-23
公开(公告)号: CN115121506A 公开(公告)日: 2022-09-30
发明(设计)人: 张琦;胡新明 申请(专利权)人: 国巨电子(中国)有限公司
主分类号: B07C5/344 分类号: B07C5/344;B07C5/02;B07C5/34
代理公司: 苏州简理知识产权代理有限公司 32371 代理人: 庞聪雅
地址: 215011 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 晶片 电阻 电极 缺陷 检测 结构 以及 筛选 方法
【权利要求书】:

1.一种晶片电阻的内电极缺陷检测结构,晶片电阻包括基板(1)、间隔设置在所述基板(1)一侧的两个内电极(3)、依次堆叠覆盖在两个所述内电极(3)之间的电阻层(4)和若干个保护层、以及设置在所述内电极(3)远离所述基板(1)一侧的辅助电极(7),其特征在于,内电极缺陷检测结构包括容置槽(10)和设置在所述容置槽(10)内的导电结构(11),所述容置槽(10)设置在外侧的保护层上,所述容置槽(10)依次贯穿若干个所述保护层至所述电阻层(4),两个所述内电极(3)均暴露于所述容置槽(10)内,所述导电结构(11)分别与两个所述内电极(3)连接。

2.根据权利要求1所述的晶片电阻的内电极缺陷检测结构,其特征在于,所述容置槽(10)为长条形,所述容置槽(10)长度方向的一端延伸至一个所述内电极(3),所述容置槽(10)长度方向的另一端延伸至另一个所述内电极(3)。

3.根据权利要求2所述的晶片电阻的内电极缺陷检测结构,其特征在于,所述容置槽(10)的长度方向与所述内电极(3)的分布方向一致;或

所述容置槽(10)的长度方向与所述内电极(3)的分布方向之间具有设定角度。

4.根据权利要求2所述的晶片电阻的内电极缺陷检测结构,其特征在于,所述容置槽(10)为曲线长条形、折线长条形、直线长条形或两种以上前述形状的组合。

5.根据权利要求1所述的晶片电阻的内电极缺陷检测结构,其特征在于,所述导电结构(11)包括镍层和锡层。

6.一种缺陷电阻的筛选方法,其特征在于,其包括如下步骤:

对印刷好保护层的晶片电阻版片进行自动光学检测,检测所述晶片电阻版片上每个晶片电阻的内电极(3)是否存在缺陷;

在存在缺陷的所述晶片电阻上设置如权利要求1-5中任一所述的缺陷检测结构;

对所有晶片电阻进行外观检测或阻值测量,筛选出设置有缺陷检测结构的内电极(3)具有缺陷的晶片电阻。

7.根据权利要求1所述的缺陷电阻的筛选方法,其特征在于,在所述晶片电阻上设置缺陷检测结构时,先在晶片电阻版片上印刷好保护层的缺陷晶片电阻上切割容置槽(10),使缺陷晶片电阻上的两个内电极(3)暴露于所述容置槽(10)内;

然后在对折粒后的晶片电阻进行电镀沉积形成镍层和锡层时,在所述容置槽(10)内沉积形成导电结构(11),且所述导电结构(11)分别与两个内电极(3)连接。

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