[发明专利]晶片电阻的内电极缺陷检测结构以及缺陷电阻的筛选方法在审
申请号: | 202210725787.2 | 申请日: | 2022-06-23 |
公开(公告)号: | CN115121506A | 公开(公告)日: | 2022-09-30 |
发明(设计)人: | 张琦;胡新明 | 申请(专利权)人: | 国巨电子(中国)有限公司 |
主分类号: | B07C5/344 | 分类号: | B07C5/344;B07C5/02;B07C5/34 |
代理公司: | 苏州简理知识产权代理有限公司 32371 | 代理人: | 庞聪雅 |
地址: | 215011 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶片 电阻 电极 缺陷 检测 结构 以及 筛选 方法 | ||
1.一种晶片电阻的内电极缺陷检测结构,晶片电阻包括基板(1)、间隔设置在所述基板(1)一侧的两个内电极(3)、依次堆叠覆盖在两个所述内电极(3)之间的电阻层(4)和若干个保护层、以及设置在所述内电极(3)远离所述基板(1)一侧的辅助电极(7),其特征在于,内电极缺陷检测结构包括容置槽(10)和设置在所述容置槽(10)内的导电结构(11),所述容置槽(10)设置在外侧的保护层上,所述容置槽(10)依次贯穿若干个所述保护层至所述电阻层(4),两个所述内电极(3)均暴露于所述容置槽(10)内,所述导电结构(11)分别与两个所述内电极(3)连接。
2.根据权利要求1所述的晶片电阻的内电极缺陷检测结构,其特征在于,所述容置槽(10)为长条形,所述容置槽(10)长度方向的一端延伸至一个所述内电极(3),所述容置槽(10)长度方向的另一端延伸至另一个所述内电极(3)。
3.根据权利要求2所述的晶片电阻的内电极缺陷检测结构,其特征在于,所述容置槽(10)的长度方向与所述内电极(3)的分布方向一致;或
所述容置槽(10)的长度方向与所述内电极(3)的分布方向之间具有设定角度。
4.根据权利要求2所述的晶片电阻的内电极缺陷检测结构,其特征在于,所述容置槽(10)为曲线长条形、折线长条形、直线长条形或两种以上前述形状的组合。
5.根据权利要求1所述的晶片电阻的内电极缺陷检测结构,其特征在于,所述导电结构(11)包括镍层和锡层。
6.一种缺陷电阻的筛选方法,其特征在于,其包括如下步骤:
对印刷好保护层的晶片电阻版片进行自动光学检测,检测所述晶片电阻版片上每个晶片电阻的内电极(3)是否存在缺陷;
在存在缺陷的所述晶片电阻上设置如权利要求1-5中任一所述的缺陷检测结构;
对所有晶片电阻进行外观检测或阻值测量,筛选出设置有缺陷检测结构的内电极(3)具有缺陷的晶片电阻。
7.根据权利要求1所述的缺陷电阻的筛选方法,其特征在于,在所述晶片电阻上设置缺陷检测结构时,先在晶片电阻版片上印刷好保护层的缺陷晶片电阻上切割容置槽(10),使缺陷晶片电阻上的两个内电极(3)暴露于所述容置槽(10)内;
然后在对折粒后的晶片电阻进行电镀沉积形成镍层和锡层时,在所述容置槽(10)内沉积形成导电结构(11),且所述导电结构(11)分别与两个内电极(3)连接。
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