[发明专利]用于确定液体介质或气体介质中的压力差的传感器设备

权利要求书

1.一种用于确定液体介质或气体介质中的压力差的传感器设备(2000)，包括：

用于所述传感器设备(2000)的外壳框架，包括第一开口和第二开口；

感测元件(100)，包括第一侧和第二侧，并且所述感测元件(100)被配置并且位于所述外壳框架内，以在所述外壳框架的第一部位处构建第一空腔，并且在所述外壳框架的第二部位处构建第二空腔，其中所述感测元件(100)被配置为确定所述第一侧与所述第二侧之间的压力差；

第一波纹隔膜(400，410)和第二波纹隔膜(500，510)，其中所述第一波纹隔膜(400，410)被配置为封闭所述第一开口以密封所述外壳框架的所述第一空腔；并且所述第二波纹隔膜(500，510)被配置为封闭所述第二开口以密封所述外壳框架的所述第二空腔；

所述第一空腔和所述第二空腔内的惰性液压流体，被配置为将作用在相应波纹隔膜(400，410，500，510)上的外部压力耦合到所述感测元件(100)的相应侧；

其中所述第一波纹隔膜(400，410)和所述第二波纹隔膜(500，510)使用具有结构化表面的衬底由保形涂覆工艺构建。

2.根据权利要求1所述的传感器设备(2000)，其中具有结构化表面的所述衬底通过光刻工艺形成以限定所述波纹隔膜(400，410，500，510)的波纹。

3.根据权利要求2所述的传感器设备(2000)，其中对在具有结构化表面的所述衬底内限定所述波纹的环形通道进行激光加工，以用于使所述环形通道的拐角平滑。

4.根据前述权利要求中任一项所述的传感器设备(2000)，其中所述相应波纹隔膜(400，410，500，510)包括调整窗口(470，570)以促进在工厂校准期间对所述空腔压力进行初始平衡。

5.根据前述权利要求中任一项所述的传感器设备(2000)，其中所述波纹隔膜(400，410，500，510)的直径小于1cm，优选地，小于20mm，最优选地，小于4mm。

6.根据前述权利要求中任一项所述的传感器设备(2000)，其中所述波纹隔膜(400，410，500，510)的材料包括金属片，其中所述金属片优选地由金和/或镍和/或钛和/或不锈钢制成。

7.根据权利要求6所述的传感器设备(2000)，其中所述金属片通过溅射工艺和/或真空沉积工艺和/或电镀工艺制成。

8.根据前述权利要求中任一项所述的传感器设备(2000)，其中所述第一空腔的第一体积和所述第二空腔的第二体积被配置为具有相似尺寸，以使由于所述液压流体的热膨胀而导致的所述传感器设备的热漂移最小。

9.根据前述权利要求中任一项所述的传感器设备(2000)，其中所述外壳框架由陶瓷板(200，250，300，350)的堆叠构建，每个陶瓷板包括孔(255，305，355)，以用于构建相应空腔。

10.根据前述权利要求中任一项所述的传感器设备(2000)，其中所述感测元件(100)被安装在所述陶瓷板(200，250，300，350)的堆叠中的所述陶瓷板(200)中的一个陶瓷板的孔处。

11.一种用于制造波纹隔膜(400，410，500，510)的方法，包括：

对金属衬底的两侧进行光刻以构建具有结构化表面的衬底，以通过保形涂层工艺限定所述波纹隔膜(400，410，500，510)的波纹；

利用第一金属片以保形方式涂覆具有结构化表面的所述衬底的两侧；

从所述金属衬底的背侧移除所述至少一个第一金属片；

从所述金属衬底的前侧的所述至少第一金属片移除在从所述金属衬底的所述背侧移除所述至少第一金属片之后暴露的所述金属衬底，以构建所述波纹隔膜(400，410，500，510)。