[发明专利]一种用于传送晶圆片的方法及装置

权利要求书

1.一种用于传送晶圆片的方法，其特征在于：

当工作人员采用人工手动操纵传送装置时，此时的步骤如下：

步骤1.手动通过移动手柄将传送装置主体移动到晶圆片上方；

步骤2.启动驱动电机使夹取伸缩装置的夹取行程最长，将传送装置缓速下移接近晶圆片，观察吸盘是否靠近晶圆片或夹取头上的凹槽是否与晶圆片边缘平行，上述夹取伸缩装的闲置状况下设定为最大行程处；

步骤3.继电器控制电源极性，正接电极，控制电机驱动伸缩装置到最大行程处，启动真空泵将晶圆片吸附在吸盘上；

步骤4.反接电极控制电机驱动伸缩装置到小行程处夹住晶圆片；

步骤5.将步骤4中的晶圆片移动到晶圆片传送盒内部，观察晶圆片侦测传感器的情况；

步骤6.当晶圆片侦测传感器提示晶圆片靠近传送盒底部时，松开伸缩装置，断开吸盘的吸力，使得晶圆片放入晶圆片传送盒内部，完成本次晶圆片的传送。

2.根据权利要求1所述一种用于传送晶圆片的方法，其特征在于：

当工作人员采用自动控制设备或其余设备与传送晶圆装置相连接操纵传送装置时，此时的步骤如下：

步骤1.通过相关控制设备将传送装置主体移动到晶圆片上方；

步骤2.通过相关控制设备启动驱动电机，控制夹取伸缩装置的夹取行程最长，控制传送装置缓速下移接近晶圆片，通过具体的设备观察传送装置是否靠近晶圆片或夹取头上的凹槽是否与晶圆片边缘平行，此时控制设备将夹取伸缩装的闲置状况下设定为最大行程处；

步骤3.通过相关控制设备控制继电器，确定电源极性，正接电极，控制电机驱动伸缩装置到最大行程处，启动真空泵将晶圆片吸附在吸盘上；

步骤4.通过相关设备控制继电器，确定电源极性，反接电极控制电机驱动伸缩装置到小行程处夹住晶圆片；

步骤5.将步骤4中的晶圆片移动到晶圆片传送盒内部，通过相关设备观察晶圆片侦测传感器的情况；

步骤6.当晶圆片侦测传感器提示晶圆片靠近传送盒底部时，通过相关设备控制，松开伸缩装置，断开吸盘的吸力，使得晶圆片放入晶圆片传送盒内部，完成本次晶圆片的传送。

3.根据权利要求1所述一种用于传送晶圆片的方法，其特征在于：所述步骤4中夹取伸缩装置将晶圆片夹紧时，夹紧的力为45N。

4.根据权利要求1所述一种用于传送晶圆片的方法，其特征在于：所述步骤1-5涉及到的电路控制如下：将PWM输入引线和电源0V连接，接入0V；正电源接入12V；其他线悬空；通电使其在最高速下工作；此时真空泵的气压为30kpa；

对于继电器的控制：采用触发电压和驱动电压电气分离对驱动电机进行切换电源极性的控制；

电路的输入部分：DC+电源正极12V；DC-接电源负极，IN1、IN2为2路信号触发端，可设置为高电平和低电平触发；此设计晕高电平触发；

电路的输出部分：NO1,1路继电器常开触点，继电器吸合前悬空，吸合后与公共端COM1连接NC1，1路继电器常闭触点，继电器吸合前与COM连接，继电器吸合后断开COM连接，2，NO2,COM2,NC2与NO1,COM1,NC1相同。

5.一种用于传送晶圆片的装置，其特征在于包括：传送装置主体、传送臂、夹取伸缩装置、夹取头、吸盘、气动单向阀、控制主板、控制继电器、真空泵和移动手柄，所述传送装置主体上设置有多条传送臂，所述传送臂内部设置夹取伸缩装置，所述夹取伸缩装置一端设置夹取头，所述传送臂设置夹取头的一端设置有多个吸盘，所述气动单向阀通过橡胶气管与真空泵连接，所述传送装置主体一侧设置有移动手柄，所述真空泵设置在移动手柄内部，吸盘在对晶圆片进行吸取时，吸盘与晶圆片所接触的位置通过工作人员的手动定位或控制设备进行定位。

6.根据权利要求5所述一种用于传送晶圆片的装置，其特征在于：所述夹取伸缩装置包括：驱动电机和夹取头所述驱动电机的工作电压为12V，所述驱动电机带动设置在夹取伸缩装置上的夹取头沿夹取伸缩装置的方向做往复运动。

7.根据权利要求5所述一种用于传送晶圆片的装置，其特征在于：所述传送装置主体底部设置用于侦测真空吸盘是否将晶圆片吸起的晶圆片侦测传感器。