[发明专利]OVJP注射块

权利要求书

1.一种有机蒸气喷射印刷OVJP装置，其包含：

印刷裸片；以及

注射块，其包含：

完全在所述注射块内的内部凹槽；

内部气体分配歧管，其将载气和/或真空分配到所述印刷裸片；以及

柔性波纹管，其安置于所述注射块内的所述内部凹槽内且与所述内部气体分配歧管流体连通，其允许所述注射块相对于固定位置的气体分配系统垂直地移动至少150μm，同时维持所述印刷裸片与所述注射块之间的流体连接。

2.根据权利要求1所述的OVJP装置，其中所述注射块包含单片材料块，且所述内部气体分配歧管包含被机械加工到所述单片材料块中的一个或多个通道。

3.根据权利要求1所述的OVJP装置，其中所述柔性波纹管允许所述注射块垂直地移动至少300μm，同时维持所述印刷裸片与所述注射块之间的所述流体连接。

4.根据权利要求1所述的OVJP装置，其进一步包含与所述柔性波纹管的第一端且与所述内部气体分配歧管流体连通的内部密封件。

5.根据权利要求4所述的OVJP装置，其中所述内部凹槽邻近于所述注射块的外表面安置，且进一步包含外部密封件以将所述内部凹槽与外部周围环境隔开且将热量保留在所述内部凹槽内。

6.根据权利要求1所述的OVJP装置，其进一步包含与所述波纹管且与载气和/或有机蒸气材料源流体连通的输入管。

7.根据权利要求6所述的OVJP装置，其中所述输入管具有至少0.635cm的内径。

8.根据权利要求7所述的OVJP装置，其中所述输入管的内径为至少0.7cm。

9.根据权利要求1所述的OVJP装置，其进一步包含经配置以维持所述注射块内的温度变化为2℃或更低的加热元件。

10.根据权利要求1所述的OVJP装置，其中所述印刷裸片包含在单片块中蚀刻的通道，所述通道与所述注射块的所述内部气体分配歧管流体连通。

11.一种有机蒸气喷射印刷OVJP注射块，其包含：

加热元件和温度传感器，所述加热元件和温度传感器经配置以将所述喷嘴组内的温度变化维持在2℃或更低。

12.根据权利要求11所述的OVJP注射块，其中所述注射块相对于固定位置的气体分配系统可在至少150μm的范围内垂直移动。

13.根据权利要求12所述的OVJP注射块，其中所述注射块可相对于所述固定位置的气体分配系统垂直地移动通过至少300μm的范围。

14.根据权利要求11所述的OVJP注射块，其中所述喷嘴组包含单片材料块。