[发明专利]真空吸附及翻转装置

权利要求书

1.一种真空吸附及翻转装置，其特征在于，包括：基座单元、翻转单元及真空吸附单元，所述翻转单元包括旋转电机，所述旋转电机的固定端固连所述基座单元，旋转端固连所述真空吸附单元；其中，

所述真空吸附单元吸附衬底，所述旋转电机驱动所述旋转端带动所述真空吸附单元及所述衬底翻转。

2.如权利要求1所述的真空吸附及翻转装置，其特征在于，所述基座单元包括若干调平顶丝、底板及支撑组件，所述支撑组件固设于所述底板上，所述调平顶丝之间绕所述底板的中心，且沿所述底板的周向对称设置；其中，

所述旋转电机的固定端固连所述支撑组件，旋转轴平行于所述底板；

所述调平顶丝调整所述底板以平行于水平面。

3.如权利要求2所述的真空吸附及翻转装置，其特征在于，所述底板为矩形板，4个调平顶丝对应分设于所述矩形板的四角。

4.如权利要求2所述的真空吸附及翻转装置，其特征在于，所述支撑组件包括左/右侧板、及前/背侧板，所述翻转单元还包括联轴器；其中，

所述左/右侧板及所述背侧板固设于所述底板上，所述左/右侧板相对分设于所述背板的两侧，前侧板相对所述背侧板，并两侧分别固连所述左/右侧板；

所述旋转电机的固定端固连所述背侧板，旋转端设于所述前/背侧板之间，所述联轴器的一端固连所述旋转端，并穿过所述前侧板，另一端固连所述真空吸附单元。

5.如权利要求4所述的真空吸附及翻转装置，其特征在于，所述翻转单元还包括左/右限位装置，所述左/右限位装置均固连所述前侧板，且对称分设于所述旋转电机的两侧，并限制所述旋转电机于预设角度内旋转。

6.如权利要求5所述的真空吸附及翻转装置，其特征在于，所述预设角度为0°至180°。

7.如权利要求5所述的真空吸附及翻转装置，其特征在于，所述左/右限位装置均包括带聚氨酯止动螺栓。

8.如权利要求5所述的真空吸附及翻转装置，其特征在于，所述翻转单元还包括左/右传感器，所述左/右传感器分别对应所述左/右限位装置，并对称分设于所述旋转电机的两侧，且检测所述旋转电机的旋转角度。

9.如权利要求1所述的真空吸附及翻转装置，其特征在于，所述真空吸附单元包括吸附臂、连接组件及真空阀，所述吸附臂的一端设有若干吸附孔，另一端固连所述连接组件并设有若干排气孔，所述排气孔对应所述连接组件的进气孔，所述连接组件固连所述旋转端，且出气孔旋转连接所述真空阀；其中，

所述真空阀开启，所述吸附孔吸附所述衬底，所述旋转电机带动所述连接组件传动所述吸附臂及所述衬底水平翻转；所述真空阀关闭，所述吸附孔释放所述衬底。

10.如权利要求9所述的真空吸附及翻转装置，其特征在于，所述连接组件包括气路相连的压块及定块，所述进气孔设于所述压块，所述出气孔设于所述定块，所述定块固连所述旋转轴，所述压块下压所述吸附臂的一端于所述定块上。