[发明专利]放电灯以及放电灯的寿命评价方法

说明书

本发明提供放电灯以及放电灯的寿命评价方法，能够容易地评价灯寿命。放电灯具备发光管、在发光管的内部相对地配置的一对电极、在一对电极中的至少一个电极的外表面上配置的灯寿命指示器，灯寿命指示器是包含金属氧化物的薄膜，随着灯的点亮时间的经过而色彩发生变化。

技术领域

本发明涉及放电灯以及放电灯的寿命评价方法。

背景技术

放电灯(以下也简称为灯)在工业上广泛利用，作为其用途，可列举半导体元件或液晶显示元件的制造工序中使用的曝光装置的光源、放映机的投影用光源。

放电灯根据其点亮时间而老化。在放电灯的老化程度变大而例如无法再获得期望的光输出或者产生超过了容许范围的闪烁的情况下，设为该灯的寿命达到了末期，进行灯的更换。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-166513号公报

专利文献2：日本特开2007-95327号公报

作为对灯的寿命(灯的老化程度)进行评价的方法，已知有如专利文献1中记载的那样对点亮的灯的电压的变动进行测定的方法。并且，作为别的方法，已知有如专利文献2中记载的那样测定点亮的灯的照度值并与初始照度值进行比较的方法。

然而，上述的任一方法都用使灯点亮时的特性来评价灯寿命，因此在评价时需要使灯点亮并测定灯特性，无法容易地评价灯寿命。

发明内容

本发明鉴于上述课题而完成，其目的在于提供能够容易地评价灯寿命的放电灯以及放电灯的寿命评价方法。

本发明的放电灯具备：发光管；一对电极，在所述发光管的内部相对地配置；以及灯寿命指示器，配置于所述一对电极中的至少一个电极的外表面，所述灯寿命指示器是包含金属氧化物的薄膜，随着灯的点亮时间的经过而色彩发生变化。

根据该结构，通过灯寿命指示器的色彩的变化来推定灯的点亮时间，能够评价灯寿命。并且，不需要为了观察灯寿命指示器而使灯点亮，因此能够容易地评价灯寿命。

在本发明的放电灯中，也可以为如下的结构：所述灯寿命指示器随着灯的点亮时间的经过而亮度下降，高亮度区域与低亮度区域之间的边界位置向远离相对的所述电极的方向移动。

根据该结构，通过观察灯寿命指示器的亮度下降的区域的扩大来推定灯的点亮时间，能够评价灯寿命。

在本发明的放电灯中，也可以为如下的结构：使所述放电灯以额定功率点亮时的所述灯寿命指示器的至少一部分的温度为1000℃以上。

灯寿命指示器为了通过金属氧化物的色彩发生变化来作为指示器起作用而需要设于施加1000℃以上的热负荷的区域。

并且，在本发明的放电灯中，也可以为如下的结构：所述放电灯处于非点亮状态时的所述发光管的内部的氧浓度为100volppm以下。

通过使发光管的内部为氧充分少的氛围，氧从金属氧化物的脱离适当地进展，容易观察灯寿命指示器的色彩的变化。

并且，在本发明的放电灯中，也可以为如下的结构：所述灯寿命指示器设置于所述电极的外表面的整个周向。

根据该结构，从电极的周向的任何位置都容易观察灯寿命指示器。

并且，在本发明的放电灯中，也可以为如下的结构：所述灯寿命指示器形成于比距所述电极的前端面的距离L(mm)靠后端侧处，在将所述灯寿命指示器的厚度设为t(μm)时，L、t满足下述的关系式(1)以及(2)，

t/L≤50 (1)

t≤200 (2)。