[发明专利]法布里-珀罗标准具表面损耗和介质损耗的估算方法

权利要求书

1.一种法布里-珀罗标准具表面损耗和介质损耗的估算方法，其特征在于，包括以下具体步骤：

S10、获取法布里-珀罗标准具的透过率T_t，根据透过率T_t获取透过率峰值T_max；

S20、根据步骤S10获取的透过率T_t和透过率峰值T_max建立无介质填充时的法布里-珀罗标准具的透过率峰值与表面损耗之间满足的第一函数关系式；

S30、根据第一函数关系式，建立有介质填充的法布里-珀罗标准具的透过率峰值与表面损耗及介质损耗之间满足的第二函数关系式；

S40、获取无介质填充的标准具的透过率峰值T_max1的实验测量值，代入第一函数关系式中计算得到标准具的表面损耗γ；

S50、获取有介质填充的标准具的透过率峰值T_max2的实验测量值和步骤S40中计算得到的标准具的表面损耗γ，代入第二函数关系式中计算得到标准具的介质损耗α。

2.根据权利要求1所述的法布里-珀罗标准具表面损耗和介质损耗的估算方法，其特征在于，所述获取法布里-珀罗标准具的透过率T_t具体包括：

S11、获取一频率梳激光源，将不同频率成分的光经过法布里-珀罗标准具；

S12、对比不同频率成分的光经过法布里-珀罗标准具之前与经过法布里-珀罗标准具之后的光强，获得法布里-珀罗标准具的透过率T_t。

3.根据权利要求2所述的法布里-珀罗标准具表面损耗和介质损耗的估算方法，其特征在于，法布里-珀罗标准具的透过率T_t为总透射波强度除以总入射波强度，其中总透射波复振幅A_t的计算公式为：

其中：A_i为入射波的复振幅，r₁为标准具上表面镀膜的反射系数，r₂为标准具下表面镀膜的反射系数，t₁为标准具上表面镀膜的透射系数，t₂为标准具下表面镀膜的透射系数，为两相邻透射波之间的光程差，n为填充介质的折射率，l为标准具两表面间隔，θ为光线入射进标准具的折射角。

4.根据权利要求3所述的法布里-珀罗标准具表面损耗和介质损耗的估算方法，其特征在于，在法布里-珀罗标准具为理想标准具时，表面镀膜满足R₁+T₁＝1，R₂+T₂＝1，R₁＝r₁²、T₁＝t₁²、R₂＝r₂²、T₂＝t₂²，所述法布里-珀罗标准具的透过率T_t为总透射波强度与入射波强度之比，计算公式为：

其中：r₁为标准具上表面镀膜的反射系数，r₂为标准具下表面镀膜的反射系数，t₁为标准具上表面镀膜的透射系数，t₂为标准具下表面镀膜的透射系数，A_tA_t^*为总透射波的强度，A_iA_i^*为入射波的强度，R₁表示标准具上表面镀膜的反射率，R₂表示标准具下表面镀膜的反射率，δ表示相邻两级透射波之间的光程差。