[发明专利]一种介质超表面型集成式光谱图像传感器在审
申请号: | 202210643556.7 | 申请日: | 2022-06-08 |
公开(公告)号: | CN115060365A | 公开(公告)日: | 2022-09-16 |
发明(设计)人: | 吴志鹏;王琦龙 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | G01J3/28 | 分类号: | G01J3/28;G01J3/02 |
代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人: | 唐少群 |
地址: | 211189 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 介质 表面 集成 光谱 图像传感器 | ||
1.一种介质超表面型集成式光谱图像传感器,其特征在于,所述光谱图像传感器包括:
探测端口,其包括:至少一组一体化的光电探测器,以及与该一体化的光电探测器相适配的存储器和信号处理电路;其用于获取并传输入射光谱数据;
数据处理单元,其用于接收探测端口传输的入射光谱数据,并且处理该入射光谱数据,其中,该数据处理单元中配置有光谱重构算法,基于该光谱重构算法,获得光谱图像;
其中,所述一体化的光电探测器还包括多个光电调制单元,所述的光电调制单元,其具有的PIN结构或PN结构自身具有光谱波长敏感特性,无需额外设立其他滤色分光单元;所述的光谱波长敏感特性通过如下方法得到:
通过采用刻蚀技术以及掩膜技术改变所述PIN结构或PN结构的上表面层,使其构建成具有介质超表面结构特征的光学薄膜层。
2.根据权利要求1所述的一种介质超表面型集成式光谱图像传感器,其特征在于,所述的探测端口包括一组一体化的光电探测器,该一组一体化的光电探测器包括至少一个一体化的光电调制单元。
3.根据权利要求2所述的一种介质超表面型集成式光谱图像传感器,其特征在于,所述的探测端口还包括微透镜系统,该微透镜系统采用透镜组件或者匀光组件。
4.根据权利要求1所述的一种介质超表面型集成式光谱图像传感器,其特征在于,所述探测端口包括至少三组并列的一体化的光电探测器,该并列的一体化的光电探测器定义为光谱数据单元;
其中,通过改变该光谱数据单元中各个光电探测器,其介质超表面结构的参数,来得到具有不同响应的光电探测器;其中,该介质超表面结构的参数包括:超表面的尺寸、周期、材料及深度;
再通过该具有不同响应的光电探测器对入射光进行光谱测量,以得具有不同响应特性的光谱信号值。
5.根据权利要求4所述的一种介质超表面型集成式光谱图像传感器,其特征在于,所述探测端口还包括:多个所述光谱数据单元构成的阵列图,行选通电路,列选通电路,模拟信号处理器,模数转换器,定时和控制单元以及数据传输口。
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