[发明专利]硅片清洗机的热能回收和杂质过滤清理一体化装置及方法

说明书

本发明公开一种硅片清洗机的热能回收和杂质过滤清理一体化装置及方法，溢流管流出的水通过第一连接管进入第二连接管内部，活动滤网和固定滤网对溢流水中的杂质过滤，需要杂质清理时，由转板带动所有的驱动圆杆公转，推动驱动轨，所有的齿条移动，所有的齿轮和转动轴转动，对每个活动滤网进行收卷，拉伸每个活动滤网，每个活动滤网的网孔变大，直至都与固定滤网的网孔一样大小且相重叠，网孔相互不遮挡，冲洗滤网；本发明通过设置热交换器能对加热清洗槽溢流出的高温水中的热能进行回收，通过回收的热能来加热所进的水，通过杂质过滤清理机构对溢流管排出的溢流水进行过滤，通过调节滤眼的尺寸较为方便地对滤网上过滤的杂质进行清理。

技术领域

本发明属于太阳能光伏电池用的硅片领域，具体是硅片生产过程中用于清洗硅片杂质的清洗机，尤其是安装在清洗机上的热能回收和杂质过滤装置。

背景技术

太阳能光伏电池用的硅片须经严格清洗，因为硅片表面的颗粒和金属杂质沾污会严重影响电池的质量，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。目前，硅片清洗的方法有物理清洗和化学清洗方法，无论是物理清方法还是化学清方法，清洗过程会产生热量，废液温度会升高，有些物理方法为了增强清洗效果，还对水进行加热，或者对清洗机的环境温度加热，最后都是用高纯去离子水将硅片冲冼干净,再加温烘干或甩干得到洁净表面的硅片。

中国专利公告号为207238646U、名称为“一种硅片清洗槽”的文献中公开的硅片清洗槽，将内槽体与外槽体通过溢流口连通，在内槽体的底部均匀排布加热管，通过PLC控制保持槽内的水恒温，以提高清洗质量。但是该硅片清洗槽存在的问题是：1、清洗槽中多余的热能只能浪费，无法回收。2、清洗的杂质直接从废水中排出，无法处理。

为了能够降低清洗槽加热至设定温度所需的电耗，部分装置会在清洗槽上加装热交换器，对清洗槽中溢流水中多余的热能进行回收，但是出现的新问题是：由于溢流水中的杂质较多，容易对热交换器造成损坏，即使通过滤网对杂质进行过滤，而滤网上的杂质清理的难度较大，而且又增加工序，效果不佳。

发明内容

1．技术问题

本发明的目的在于解决现有硅片清洗工序中存在的热能无法回收、杂质清理难度大的问题，提出一种硅片清洗机的热能回收和杂质过滤清理一体化装置，本发明同时提出该装置的热能回收和杂质过滤清理方法。

2．技术方案

为解决上述问题，本发明所述的硅片清洗机的热能回收和杂质过滤清理一体化装置采用如下的技术方案：其包括热交换器，与外部水源连接的第一进水管通过热交换器连通第二进水管的进口，第二进水管的出口通过硅片清洗机的加热清洗槽连通溢流管的进口，溢流管的出口与第一连接管的进口相连，第一连接管的出口和第二连接管的进口之间设置至少两个活动滤网和一个固定滤网，第二连接管的出口连接热交换器，第一连接管和第二连接管的中心轴共线且密封连接活动滤网和固定滤网，固定滤网固定不动且和活动滤网叠放在一起，所有活动滤网都能沿垂直于第一连接管第二连接管中心轴的方向来回滑动；第二连接管的管壁上旁接排污管，排污管上设置第一个密封阀门，在排污管和热交换器之间的第二连接管上设有第二个密封阀门；在第一连接管和第二连接管的连接处的正上方和正下方各设有一个可旋转的定位转杆，在第一连接管的上方且沿着第一连接管的轴向上设置至少两个转动轴，转动轴和定位转杆的中心轴与第一连接管和第二连接管的中心轴在空间垂直正交；每个活动滤网先缠绕在一个转动轴上，再共同绕过上方的第一个定位转杆后穿过第一连接管和第二连接管之间，又共同绕过下方的第二个定位转杆1后固定连接于拉力筋；所有的转动轴都共同连接一个同步滤网调节组件，同步滤网调节组件能带动每个转动轴以不同转速转动；所有的活动滤网都由弹性材料制成，固定滤网上的网孔大于所有的活动滤网上的网孔，绕在转速最快的转动轴上的活动滤网的网孔最小，绕在转速最慢的转动轴上的活动滤网的网孔最大。