[发明专利]硅片清洗机的热能回收和杂质过滤清理一体化装置及方法

权利要求书

1.一种硅片清洗机的热能回收和杂质过滤清理一体化装置，包括热交换器（2），其特征是：与外部水源连接的第一进水管（3）通过热交换器（2）连通第二进水管（4）的进口，第二进水管（4）的出口通过硅片清洗机的加热清洗槽（1）连通溢流管（5）的进口，溢流管（5）的出口与第一连接管（8）的进口相连，第一连接管（8）的出口和第二连接管（9）的进口之间设置至少两个活动滤网（13）和一个固定滤网（12），第二连接管（9）的出口连接热交换器（2），第一连接管（8）和第二连接管（9）的中心轴共线且密封连接活动滤网（13）和固定滤网（12），固定滤网（12）固定不动且和活动滤网（13）叠放在一起，所有活动滤网（13）都能沿垂直于第一连接管（8）第二连接管（9）中心轴的方向来回滑动；第二连接管（9）的管壁上旁接排污管（10），排污管（10）上设置第一个密封阀门（11），在排污管（10）和热交换器（2）之间的第二连接管（9）上设有第二个密封阀门（11）；在第一连接管（8）和第二连接管（9）的连接处的正上方和正下方各设有一个可旋转的定位转杆（12），在第一连接管（8）的上方且沿着第一连接管（8）的轴向上设置至少两个转动轴（15），转动轴（15）和定位转杆（12）的中心轴与第一连接管（8）和第二连接管（9）的中心轴在空间垂直正交；每个活动滤网（13）先缠绕在一个转动轴（15）上，再共同绕过上方的第一个定位转杆（12）后穿过第一连接管（8）和第二连接管（9）之间，又共同绕过下方的第二个定位转杆（12）后固定连接于拉力筋（26）；所有的转动轴（15）都共同连接一个同步滤网调节组件，同步滤网调节组件能带动每个转动轴（15）以不同转速转动；所有的活动滤网（13）都由弹性材料制成，固定滤网（12）上的网孔大于所有的活动滤网（13）上的网孔，绕在转速最快的转动轴（15）上的活动滤网（13）的网孔最小，绕在转速最慢的转动轴（15）上的活动滤网（13）的网孔最大。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机的热能回收和杂质过滤清理一体化装置，其特征是：所述的同步滤网调节组件由一个转板（19）、至少两个驱动圆杆（20）、至少两个驱动轨（18）、至少两个齿轮（16）和至少两个齿条（17）组成，每个转动轴（15）上都同轴心固定套接一个齿轮（16），每个齿轮（16）都与其下方的一个齿条（17）相啮合，所有的齿条（17）结构相同且上下分列开，每个齿条（17）在靠近第一连接管（8）进口处的这一端都分别各固定连接一个驱动轨（18），沿第一连接管（8）的轴向上，所有的驱动轨（18）等间距地布置，上下高度都相平齐，所有的驱动轨（18）都具有腰形轨道，每个驱动轨（18）的腰形轨道中各连接一个驱动圆杆（20），驱动圆杆（20）能沿腰形轨道上下滑动，每个驱动圆杆（20）都共同连接一个转板（19），转板（19）为长条形，其一端在转动轴（15）的上方且转板（19）能绕其一端旋转，沿转板（19）的长度方向上，转板（19）等间距的固定连接各个驱动圆杆（20）；与靠近第一连接管（8）出口处的转动轴（15）上的齿轮（16）相啮合的齿条（17）位于最下方，与靠近第一连接管（8）进口处的转动轴（15）上的齿轮（16）相啮合的齿条（17）位于最上方。

3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机的热能回收和杂质过滤清理一体化装置，其特征是：转板（19）的另一端连接自锁组件，当转板（19）旋转后，自锁组件能锁住转板（19）。

4.根据权利要求3所述的一种硅片清洗机的热能回收和杂质过滤清理一体化装置，其特征是：所述的调节自锁组件包括插杆（21）和固定不动的扇形板（23），扇形板（23）上沿圆周方向开设有多个定位插孔（24），插杆（21）一端能插接在定位插孔（24）中，另一端固定连接于转板（19）的另一端，插杆（21）外套接回力弹簧（22）。

5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机的热能回收和杂质过滤清理一体化装置，其特征是：拉力筋（26）是长方形，所有的活动滤网（13）固定粘贴在一个拉力筋（26）上；或者一个活动滤网（13）固定粘贴在一个拉力筋（26）上。