[发明专利]一种户外电子纸面板及其制备方法在审
申请号: | 202210617753.1 | 申请日: | 2022-06-01 |
公开(公告)号: | CN115097681A | 公开(公告)日: | 2022-09-23 |
发明(设计)人: | 何维 | 申请(专利权)人: | 江西兴泰科技有限公司 |
主分类号: | G02F1/167 | 分类号: | G02F1/167;G02F1/1677;G02F1/1676 |
代理公司: | 宁波甬致专利代理有限公司 33228 | 代理人: | 张密密 |
地址: | 343099 *** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 户外 电子 纸面 及其 制备 方法 | ||
本发明提供了一种户外电子纸面板及其制备方法,户外电子纸面板包括基板和设置于基板上的遮光层和像素电极,遮光层为不透光材料,用于遮挡环境光照射于薄膜晶体管上,本发明在制作过程中,将遮光层薄膜形成于像素电极薄膜的底部,并将遮光层和像素电极一起合并曝光,使遮光层的图形和像素电极的图形完全重合,不仅有效地减少了制作户外电子板面板的工序,同时也有效地降低生产户外电子板面板的成本,具有较好的经济效益。
技术领域
本发明涉及显示屏技术领域,尤其涉及一种户外电子纸面板及其制备方法。
背景技术
随着显示技术的发展,用户对显示产品要求越来越高,近年来涌现出一大批新型显示技术,其中包括电子纸。电子纸是一种超薄、超轻的显示屏,具有纸介质一样的视觉特点,凭借超宽视角、超低功耗、纯反射模式、双稳态显示、显示效果接近自然纸张以及免于阅读疲劳等优势,成为便携显示设备的新宠。
常规电子纸面板一般由栅电极、有源层、源电极、钝化保护层、绝缘层和像素电极六道光罩构成;而对于户外电子纸,还需增加一道遮光层,用于遮挡环境光线,以防止环境光线直接照射到薄膜晶体管上,避免薄膜晶体管发生漏电现象,因此,户外电子纸面板一般由栅电极、有源层、源电极、钝化保护层、绝缘层、遮光层和像素电极七道光罩构成。由于电子板的每道光罩均是通过成膜-清洗-涂光阻胶-曝光-显影-蚀刻-去光阻胶-检查的工艺流程制备得到的,因此,户外电子纸中增加的遮光层不仅会增加户外电子纸的生产工序,同时还提高了户外电子纸的生产成本。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是如何提供一种户外电子纸面板及其制备方法,在增加遮光层的同时还能有效地减少制作面板的工序和成本。
为了达到上述目的,本发明提供一种户外电子纸面板,包括基板和设置于基板上部的遮光层和像素电极,其中,遮光层设置于像素电极的底部,本发明为了减少户外电子纸面板的制作工序,将遮光层和像素电极合并一起曝光,由此得到的遮光层的图层结构和像素电极的图层结构完全一致,且从平面上看,遮光层的图形和像素电极的图形是完全重合在一起的,因此本发明在户外电子纸面板中引入遮光层的同时,还有效地降低了户外电子纸面板的制作成本,具有较好的经济效益。
进一步地,遮光层由不透光材料制备得到的,优选地,不透光材料可以是金属钼、金属铝、金属铜、金属铬、金属铌以及它们的合金材料中的任一一种,由此,遮光层不仅具有较好的遮光效果,同时还具有较好的电容性能。
进一步地,遮光层的厚度优选为像素电极的厚度为
进一步地,在本发明中,面板还包括栅电极、有源层、源电极、漏电极、钝化保护层以及绝缘层,其中,栅电极间隔地设置于基板之上,钝化保护层覆盖于栅电极的上方,钝化保护层内设有与栅电极对配合的源电极,漏电极以及用于连接源电极和漏电极的有源层,钝化层的上方设有绝缘层,绝缘层上方依次为遮光层和像素电极,钝化保护层内设有用于将遮光层和像素电极连接于漏电极的开孔,由此栅电极、有源层、源电极和漏电极均设置于遮光层的底部,本发明在户外电子纸面板中引入的遮光层,没有改变原面板的结构设置和整体形状,方便应用,同时提供了较大的遮光面积,能够遮挡了不同角度和方向的环境光照射于薄膜晶体管,较好地保护了薄膜晶体管元件的性能。
进一步地,本发明的另一方面提供了上述户外电子纸面板的制备方法,包括以下步骤:
S1、在基板上形成栅电极、有源层、源电极、漏电极、钝化保护层以及绝缘层;
S2、在绝缘层上形成第一层薄膜,然后在第一层薄膜上形成第二层薄膜;
S3、清洗后,在第二层薄膜上涂覆一层光阻胶;
S4、对第二层薄膜上的光阻胶进行曝光、显影;
S5、对第二层薄膜进行蚀刻,形成像素电极;
S6、对第一层薄膜进行蚀刻形成遮光层;
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