[发明专利]磁性存储器件

权利要求书

1.一种磁性存储器件，包括：

依次堆叠在衬底上的被钉扎磁性图案和自由磁性图案；

在所述被钉扎磁性图案和所述自由磁性图案之间的隧道势垒图案；

在所述自由磁性图案上的顶电极；以及

在所述自由磁性图案和所述顶电极之间的盖图案，

其中所述盖图案包括：

下盖图案；

在所述下盖图案和所述顶电极之间的上盖图案；

在所述下盖图案和所述上盖图案之间的第一非磁性图案；以及

在所述第一非磁性图案和所述上盖图案之间的第二非磁性图案，所述下盖图案和所述上盖图案中的每个包括非磁性金属，以及

所述第一非磁性图案和所述第二非磁性图案包括彼此不同的金属。

2.根据权利要求1所述的磁性存储器件，其中

所述第一非磁性图案包括第一金属，

所述第二非磁性图案包括第二金属，以及

所述第二金属的氧化电位大于所述第一金属的氧化电位。

3.根据权利要求2所述的磁性存储器件，其中所述第一金属和所述第二金属中的每种具有比所述下盖图案和所述上盖图案的每个中包括的所述非磁性金属的氧化电位大的氧化电位。

4.根据权利要求2所述的磁性存储器件，其中

所述第一金属和所述第二金属是非磁性金属，以及

所述下盖图案和所述上盖图案中的每个的所述非磁性金属不同于所述第一金属和所述第二金属。

5.根据权利要求1所述的磁性存储器件，其中

所述第一非磁性图案包括第一金属或所述第一金属的合金，所述第一金属是Ta。

6.根据权利要求5所述的磁性存储器件，其中所述第一金属的所述合金包括所述第一金属和硼(B)的合金。

7.根据权利要求5所述的磁性存储器件，其中

所述第二非磁性图案包括第二金属或所述第二金属的合金，以及

所述第二金属是Hf、Zr、Sr、Sc、Y、Ca、Be、Ba或Ti。

8.根据权利要求7所述的磁性存储器件，其中所述第二金属的所述合金包括所述第二金属和硼(B)的合金、所述第二金属和氮(N)的合金、或所述第二金属和硅(Si)的合金。

9.根据权利要求1所述的磁性存储器件，其中

所述第一非磁性图案和所述第二非磁性图案中的每个具有在垂直于所述衬底的顶表面的方向上的厚度，以及

所述第二非磁性图案的所述厚度大于所述第一非磁性图案的所述厚度。

10.根据权利要求1所述的磁性存储器件，还包括在所述自由磁性图案和所述盖图案之间的第一子图案，

其中所述第一子图案在所述自由磁性图案和所述下盖图案之间并包括金属氧化物层。

11.根据权利要求10所述的磁性存储器件，还包括在所述第一子图案和所述下盖图案之间的第二子图案，

其中所述第二子图案包括非磁性金属，以及

其中所述第二子图案的所述非磁性金属不同于所述下盖图案的所述非磁性金属。

12.根据权利要求1所述的磁性存储器件，还包括在所述隧道势垒图案的侧表面上的保护层，

其中所述第一非磁性图案包括第一金属，

其中所述第二非磁性图案包括不同于所述第一金属的第二金属，以及

其中所述保护层包括金属氧化物，所述金属氧化物包含选自所述第一金属和所述第二金属的至少一种。