[发明专利]蒸发源装置

说明书

本发明提供一种蒸发源装置，包括真空室以及位于真空室内的基座、至少一个真空盒、至少一个控制阀门；至少一个真空盒设置于基座上，真空盒内设置有坩埚；真空盒与控制阀门连接；控制阀门包括相对设置的第一管口和第二管口，第一管口与真空盒相连通，第二管口与真空室相连通；本发明通过将坩埚设置于真空盒内，可以阻挡飞溅的原料蒸镀至基板，通过使真空盒内产生的蒸镀源通过控制阀门进入真空室内，可以通过改变控制阀门的开合程度，从而控制蒸气流量，从而在蒸发镀膜过程中时刻控制镀膜的厚度，提高镀膜质量；还可以使原料均匀反应，避免产生白色颗粒影响薄膜的粗糙度。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种蒸发源装置。

背景技术

近年来，有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示技术在手机、电脑、电视、车载等消费应用领域呈迸发式发展，商业化的OLED显示器件主要有红(R)、绿(G)、蓝(B)三色OLED显示器件和白光OLED搭配彩色滤光片显示器件。OLED显示技术主要包括以真空蒸镀技术为基础的小分子OLED显示技术和以溶液制程为基础的高分子OLED显示技术。蒸镀机是当前已量产的小分子OLED显示器件的主要生产设备，其核心部分为蒸发源装置。现有蒸发源装置通过加热源通电产生热量，从而对坩埚及放置于坩埚中的材料进行加热气化形成蒸镀源，蒸镀源到达基板后沉积为薄膜。

现有技术的蒸发源装置存在以下不足点：①蒸镀制程中所使用的材料蒸发产生的气体量不受控制，材料蒸发过快，导致真空室内的真空度下降，即真空环境变差，影响镀膜质量，最终导致材料发光效果差；②持续升温的过程中，材料蒸发速率跳动，偶尔伴随原料飞溅；③由于气流量大，反应不均匀，导致蒸镀形成的薄膜有时出现肉眼可见的白色颗粒(大约10微米量级)，增加了薄膜的粗糙度。故，有必要改善这一缺陷。

发明内容

本发明实施例提供一种蒸发源装置，用于解决现有技术的蒸发源装置蒸发镀膜的气流不可控，材料蒸发过快，导致真空室内的真空度下降，影响镀膜质量；另外，蒸发过程中原料飞溅以及蒸镀形成的薄膜粗糙度过高的技术问题。

本发明实施例提供一种蒸发源装置，包括真空室以及位于所述真空室内的基座、至少一个真空盒、至少一个控制阀门；至少一个所述真空盒设置于所述基座上，所述真空盒内设置有坩埚；所述真空盒与所述控制阀门连接；其中，所述控制阀门包括相对设置的第一管口和第二管口，所述第一管口与所述真空盒相连通，所述第二管口与所述真空室相连通。

在本发明实施例提供的蒸发源装置中，所述真空盒包括盒体和盒盖，所述盒盖与所述盒体密封连接，所述第一管口通过所述盒盖与所述真空盒相连通。

在本发明实施例提供的蒸发源装置中，所述真空盒包括导电构件，所述导电构件包括导电杆和围绕所述导电杆设置的陶瓷，所述导电杆通过所述陶瓷与所述盒体密封连接。

在本发明实施例提供的蒸发源装置中，所述导电杆包括连续的第一导电部和第二导电部，所述第一导电部位于所述真空盒的盒外，所述第二导电部位于所述真空盒的盒内。

在本发明实施例提供的蒸发源装置中，所述真空室内设置有电源模块；其中，所述第一导电部与所述电源模块电性连接，所述第二导电部与所述坩埚电性连接。

在本发明实施例提供的蒸发源装置中，在垂直于所述导电杆的延伸方向上，所述第二导电部的宽度大于所述第一导电部的宽度。

在本发明实施例提供的蒸发源装置中，所述真空室内设置有电机构件，所述电机构件包括电机支架和真空电机，所述电机支架位于所述基座上，所述真空电机位于所述电机支架上；其中，所述真空电机通过传动机构与所述控制阀门密封连接。

在本发明实施例提供的蒸发源装置中，所述传动机构为套管，所述控制阀门为波纹计量阀。