[发明专利]蒸发源装置

权利要求书

1.一种蒸发源装置，其特征在于，包括真空室以及位于所述真空室内的：

基座；

至少一个真空盒，设置于所述基座上，所述真空盒内设置有坩埚；

至少一个控制阀门，所述真空盒与所述控制阀门连接；

其中，所述控制阀门包括相对设置的第一管口和第二管口，所述第一管口与所述真空盒相连通，所述第二管口与所述真空室相连通。

2.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述真空盒包括盒体和盒盖，所述盒盖与所述盒体密封连接，所述第一管口通过所述盒盖与所述真空盒相连通。

3.如权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，所述真空盒包括导电构件，所述导电构件包括导电杆和围绕所述导电杆设置的陶瓷，所述导电杆通过所述陶瓷与所述盒体密封连接。

4.如权利要求3所述的蒸发源装置，其特征在于，所述导电杆包括连续的第一导电部和第二导电部，所述第一导电部位于所述真空盒的盒外，所述第二导电部位于所述真空盒的盒内。

5.如权利要求4所述的蒸发源装置，其特征在于，所述真空室内设置有电源模块；

其中，所述第一导电部与所述电源模块电性连接，所述第二导电部与所述坩埚电性连接。

6.如权利要求5所述的蒸发源装置，其特征在于，在垂直于所述导电杆的延伸方向上，所述第二导电部的宽度大于所述第一导电部的宽度。

7.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述真空室内设置有电机构件，所述电机构件包括电机支架和真空电机，所述电机支架位于所述基座上，所述真空电机位于所述电机支架上；

其中，所述真空电机通过传动机构与所述控制阀门密封连接。

8.如权利要求7所述的蒸发源装置，其特征在于，所述传动机构为套管，所述控制阀门为波纹计量阀。

9.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述基座上设置有至少三个支撑杆，至少三个所述支撑杆远离所述基座的一侧设置有承载台；

其中，所述承载台位于所述第二管口远离所述第一管口的一侧。

10.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述真空盒内设置有石墨块，所述石墨块位于所述坩埚靠近所述第一管口的一侧；

其中，在所述坩埚至所述第一管口的方向上，所述石墨块上设置有多个通孔。