[发明专利]一种大尺寸铌酸锂单晶及其晶体生长方法在审

专利信息
申请号: 202210495052.5 申请日: 2022-05-07
公开(公告)号: CN114686967A 公开(公告)日: 2022-07-01
发明(设计)人: 罗毅;龚瑞;刘照俊 申请(专利权)人: 合肥中科瑞恒新材料科技有限责任公司
主分类号: C30B15/20 分类号: C30B15/20;C30B29/30
代理公司: 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 代理人: 付金浩
地址: 230000 安徽省合肥市经*** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 尺寸 铌酸锂单晶 及其 晶体生长 方法
【说明书】:

本发明公开了一种大尺寸铌酸锂单晶的晶体生长方法,其中多次提拉的方式为:将籽晶进入液面4mm,进入液面4mm后稳定10mi n后开始提拉并缩颈,缩颈时提拉速度8mm/h,升温速度8℃/h,缩颈宽度为1mm,提拉高度为2mm;将籽晶进入液面2mm,进入液面2mm后稳定10mi n后再次提拉并缩颈,缩颈时提拉速度4mm/h,升温速度4℃/h,缩颈宽度为2mm,提拉高度为4mm;将籽晶进入液面1mm,进入液面1mm后稳定10mi n后再次提拉并缩颈,缩颈时提拉速度1mm/h,升温速度2℃/h,缩颈宽度为4mm,提拉高度为8mm,本发明多次提拉的方式来改变大尺寸铌酸锂单晶的生长;有效提高铌酸锂单晶的质量。

技术领域

本发明涉及晶体技术领域,具体涉及一种大尺寸铌酸锂单晶及其晶体生长方法。

背景技术

中国专利CN113529170A公开了一种超大尺寸铌酸锂单晶的生长方法,包括以下步骤:(1)采用提拉法制备小尺寸晶体;在小尺寸晶体生长结束后提拉一段细颈;在细颈提拉结束后,进入扩肩、等径和收尾阶段,完成超大尺寸铌酸锂单晶的生长;(2)超大尺寸铌酸锂单晶生长结束后,冷却,将超大尺寸铌酸锂单晶与细颈分离,获得超大尺寸铌酸锂单晶;

现有技术中,铌酸锂单晶在生长过程中,都是采用单次提拉生长的方式,该工艺在制造过程中得到的晶体,晶体尺寸越大,晶体质量越差,其成型晶体的内部一般都存在热应力,晶体尺寸越大热应力越大,严重的情况可造成晶体开裂的问题。

发明内容

本发明的目的就在于解决上述背景技术的问题,而提出一种大尺寸铌酸锂单晶及其晶体生长方法。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现:

一种大尺寸铌酸锂单晶的晶体生长方法,包括以下步骤:准备原料、制备富锂多晶料、熔化、提拉生长,

提拉生长为将固定好的籽晶保持非旋转缓慢的方式下降到液面,控制温度保持籽晶截面积保持不变,稳定后缓慢沿Z轴方向进行多次提拉;

其中,多次提拉的方式为:

第一次提拉:将籽晶进入液面4mm,进入液面4mm后稳定10min后开始提拉并缩颈,缩颈时提拉速度8mm/h,升温速度8℃/h,缩颈宽度为1mm,提拉高度为2mm;

第二次提拉:将籽晶进入液面2mm,进入液面2mm后稳定10min后再次提拉并缩颈,缩颈时提拉速度4mm/h,升温速度4℃/h,缩颈宽度为2mm,提拉高度为4mm;

第三次提拉:将籽晶进入液面1mm,进入液面1mm后稳定10min后再次提拉并缩颈,缩颈时提拉速度1mm/h,升温速度2℃/h,缩颈宽度为4mm,提拉高度为8mm。

作为本发明进一步的方案:富锂多晶料是将碳酸锂和五氧化二铌混合后压块制备得到的。

作为本发明进一步的方案:碳酸锂和五氧化二铌的摩尔比为1:1-1.5。

作为本发明进一步的方案:熔化:将籽晶沿Z轴方向固定,同时将富锂多晶料熔化在铂金坩埚中,保温10个小时。

作为本发明进一步的方案:铂金坩埚尺寸为直径60mm、高60mm。

作为本发明进一步的方案:生长阶段,对铌酸锂单晶进行冷却至室温,该冷却方式采用阶梯性降温。

作为本发明进一步的方案:阶梯性降温按照以下顺序进行操作:以8-10℃/h降温60-90min,20-25℃/h降温2-4h,40-60℃/h降温6-8h,最后80-100℃/h降温至室温。

一种大尺寸铌酸锂单晶,大尺寸铌酸锂单晶化学式为LiNbO3,铌酸锂单晶的直径为20-80mm。

本发明的有益效果:

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥中科瑞恒新材料科技有限责任公司,未经合肥中科瑞恒新材料科技有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202210495052.5/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top