[发明专利]一种大尺寸铌酸锂单晶及其晶体生长方法在审
| 申请号: | 202210495052.5 | 申请日: | 2022-05-07 |
| 公开(公告)号: | CN114686967A | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
| 发明(设计)人: | 罗毅;龚瑞;刘照俊 | 申请(专利权)人: | 合肥中科瑞恒新材料科技有限责任公司 |
| 主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20;C30B29/30 |
| 代理公司: | 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 | 代理人: | 付金浩 |
| 地址: | 230000 安徽省合肥市经*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 尺寸 铌酸锂单晶 及其 晶体生长 方法 | ||
本发明公开了一种大尺寸铌酸锂单晶的晶体生长方法,其中多次提拉的方式为:将籽晶进入液面4mm,进入液面4mm后稳定10mi n后开始提拉并缩颈,缩颈时提拉速度8mm/h,升温速度8℃/h,缩颈宽度为1mm,提拉高度为2mm;将籽晶进入液面2mm,进入液面2mm后稳定10mi n后再次提拉并缩颈,缩颈时提拉速度4mm/h,升温速度4℃/h,缩颈宽度为2mm,提拉高度为4mm;将籽晶进入液面1mm,进入液面1mm后稳定10mi n后再次提拉并缩颈,缩颈时提拉速度1mm/h,升温速度2℃/h,缩颈宽度为4mm,提拉高度为8mm,本发明多次提拉的方式来改变大尺寸铌酸锂单晶的生长;有效提高铌酸锂单晶的质量。
技术领域
本发明涉及晶体技术领域,具体涉及一种大尺寸铌酸锂单晶及其晶体生长方法。
背景技术
中国专利CN113529170A公开了一种超大尺寸铌酸锂单晶的生长方法,包括以下步骤:(1)采用提拉法制备小尺寸晶体;在小尺寸晶体生长结束后提拉一段细颈;在细颈提拉结束后,进入扩肩、等径和收尾阶段,完成超大尺寸铌酸锂单晶的生长;(2)超大尺寸铌酸锂单晶生长结束后,冷却,将超大尺寸铌酸锂单晶与细颈分离,获得超大尺寸铌酸锂单晶;
现有技术中,铌酸锂单晶在生长过程中,都是采用单次提拉生长的方式,该工艺在制造过程中得到的晶体,晶体尺寸越大,晶体质量越差,其成型晶体的内部一般都存在热应力,晶体尺寸越大热应力越大,严重的情况可造成晶体开裂的问题。
发明内容
本发明的目的就在于解决上述背景技术的问题,而提出一种大尺寸铌酸锂单晶及其晶体生长方法。
本发明的目的可以通过以下技术方案实现:
一种大尺寸铌酸锂单晶的晶体生长方法,包括以下步骤:准备原料、制备富锂多晶料、熔化、提拉生长,
提拉生长为将固定好的籽晶保持非旋转缓慢的方式下降到液面,控制温度保持籽晶截面积保持不变,稳定后缓慢沿Z轴方向进行多次提拉;
其中,多次提拉的方式为:
第一次提拉:将籽晶进入液面4mm,进入液面4mm后稳定10min后开始提拉并缩颈,缩颈时提拉速度8mm/h,升温速度8℃/h,缩颈宽度为1mm,提拉高度为2mm;
第二次提拉:将籽晶进入液面2mm,进入液面2mm后稳定10min后再次提拉并缩颈,缩颈时提拉速度4mm/h,升温速度4℃/h,缩颈宽度为2mm,提拉高度为4mm;
第三次提拉:将籽晶进入液面1mm,进入液面1mm后稳定10min后再次提拉并缩颈,缩颈时提拉速度1mm/h,升温速度2℃/h,缩颈宽度为4mm,提拉高度为8mm。
作为本发明进一步的方案:富锂多晶料是将碳酸锂和五氧化二铌混合后压块制备得到的。
作为本发明进一步的方案:碳酸锂和五氧化二铌的摩尔比为1:1-1.5。
作为本发明进一步的方案:熔化:将籽晶沿Z轴方向固定,同时将富锂多晶料熔化在铂金坩埚中,保温10个小时。
作为本发明进一步的方案:铂金坩埚尺寸为直径60mm、高60mm。
作为本发明进一步的方案:生长阶段,对铌酸锂单晶进行冷却至室温,该冷却方式采用阶梯性降温。
作为本发明进一步的方案:阶梯性降温按照以下顺序进行操作:以8-10℃/h降温60-90min,20-25℃/h降温2-4h,40-60℃/h降温6-8h,最后80-100℃/h降温至室温。
一种大尺寸铌酸锂单晶,大尺寸铌酸锂单晶化学式为LiNbO3,铌酸锂单晶的直径为20-80mm。
本发明的有益效果:
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