[发明专利]波导、光学组件及其集成方法

权利要求书

1.一种波导，其第一表面沿着所述波导的长度方向包括：

具有第一宽度的第一区域；以及

具有第二宽度的第二区域，其中所述第二宽度大于所述第一宽度；

其中所述波导经配置使得光能够通过所述第二区域的至少一部分经由倏逝波耦合传输到第二波导。

2.根据权利要求1所述的波导，其中所述第二区域包括渐变区，所述渐变区的宽度沿着所述波导的长度方向渐增。

3.根据权利要求1所述的波导，其中所述第二区域包括沿着波导长度方向宽度不变的区域。

4.根据权利要求1所述的波导，其中所述第一表面沿着所述波导的长度方向还包括：

一或多个子区域，其位于所述第二区域的右侧；

其中所述子区域的宽度沿着所述波导的长度方向渐减，使得光能够从所述一或多个子区域经由倏逝波耦合传输到所述第二波导。

5.根据权利要求4所述的波导，其中所述子区域中的至少一者的宽度沿着所述波导的长度方向随其长度的增加线性递减。

6.一种光学组件，其包括：

第一器件，其包括第一波导，所述第一波导为如权利要求1-5中任一权利要求所述的波导；以及

第二器件，其包括所述第二波导，

其中，所述第一器件与所述第二器件通过所述第一波导的第一表面的第二区域的至少一部分与所述第二波导的第二表面的第三区域耦接。

7.根据权利要求6所述的光学组件，其中所述第三区域沿着所述波导的长度方向包括：具有第四宽度的第四区域，其中所述第四宽度与所述第二区域的所述至少一部分的宽度相当使得所述第一波导与所述第二波导能够对准安置。

8.根据权利要求7所述的光学组件，其中所述第三区域还包括位于所述第四区域左边的一或多个第二子区域，其中所述第二子区域的宽度沿着所述波导的长度方向渐增。

9.根据权利要求6所述的光学组件，其还包括位于所述第一器件和所述第二器件之间的介质辅助层。

10.根据权利要求6所述的光学组件，其中所述第一器件是有源器件，所述第二器件是无源器件。

11.根据权利要求6所述的光学组件，其中所述第一器件包括以下器件中的至少一者：激光器、光放大器以及光探测器。

12.根据权利要求6所述的光学组件，其中所述第一波导是InGaAsP波导。

13.根据权利要求6所述的光学组件，其中所述第二波导是铌酸锂波导、硅波导或非晶硅波导。

14.一种芯片，其包括如权利要求6-13中的任一权利要求所述的光学组件。

15.一种光量子集成芯片，其包括如权利要求6-13中的任一权利要求所述的光学组件。

16.一种光学组件集成的方法，其包括：

分别制备第一器件和第二器件，其中所述第一器件包括第一波导，所述第一波导为如权利要求1-5中任一权利要求所述的波导，所述第二器件包括所述第二波导；以及

对所述第一器件与所述第二器件进行键合耦接使得光能够通过所述第一波导的所述第二区域的所述至少一部分经由倏逝波耦合传输到所述第二波导。

17.一种光电异质集成的方法，其包括如权利要求16所述的方法。