[发明专利]太阳能电池及其生产方法、生产系统，光伏组件

权利要求书

1.一种太阳能电池，其特征在于，包括：

硅基底；

所述硅基底的向光面的局部区域有至少一个第一掺杂区域；各个所述第一掺杂区域的掺杂类型和所述硅基底的掺杂类型均相同，且各个所述第一掺杂区域的掺杂浓度均大于所述硅基底的掺杂浓度；

依次层叠分布在所述硅基底、以及所述第一掺杂区域的向光侧上的化学钝化膜、场钝化减反射膜；

位于所述硅基底的向光侧的至少一个正面栅线电极；至少一个所述正面栅线电极和至少一个所述第一掺杂区域相互接触。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，每个所述第一掺杂区域的深度为0.1-0.5um；所述第一掺杂区域的深度所在的方向，与所述化学钝化膜和所述场钝化减反射膜的层叠方向平行。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，所述化学钝化膜包括：氧化硅膜或氧化铝膜；和/或，所述场钝化减反射膜包括氮化硅薄膜。

4.根据权利要求3所述的太阳能电池，其特征在于，所述太阳能电池还包括：位于所述场钝化减反射膜向光侧的减反射膜。

5.根据权利要求1-4中任一所述的太阳能电池，其特征在于，所述太阳能电池还包括：依次层叠分布在所述硅基底的背光侧的本征非晶硅膜、与所述硅基底掺杂类型不同的掺杂非晶硅膜、透明导电氧化物薄膜、以及背面电极；

所述背面电极为覆盖在所述透明导电氧化物薄膜上的整面电极层，所述透明导电氧化物薄膜的厚度为5-80nm；所述透明导电氧化物薄膜的厚度所在的方向，与所述化学钝化膜和所述场钝化减反射膜的层叠方向平行。

6.根据权利要求5所述的太阳能电池，其特征在于，所述整面电极层的厚度为1-10um。

7.根据权利要求1-4中任一所述的太阳能电池，其特征在于，所述正面栅线电极为镍铜银叠层栅线电极。

8.根据权利要求7所述的太阳能电池，其特征在于，所述镍铜银叠层栅线电极中：镍元素、铜元素、银元素三者的质量比例为：(0.5-2.5)：(5-9)：(0.5-2.5)。

9.根据权利要求1-4中任一所述的太阳能电池，其特征在于，

每个所述正面栅线电极和每个所述第一掺杂区域位置一一对应，且相互接触。

10.根据权利要求9所述的太阳能电池，其特征在于，每个所述正面栅线电极在位置对应的所述第一掺杂区域上的投影，在第一方向上的尺寸，等于位置对应的所述第一掺杂区域在所述第一方向上的尺寸，每个所述正面栅线电极在位置对应的所述第一掺杂区域上的投影，在第二方向上的尺寸，比位置对应的所述第一掺杂区域在所述第二方向上的尺寸小15-50um；所述第一方向和所述第二方向均与所述硅基底的向光面平行，且所述第一方向和所述第二方向垂直；

和/或，每个所述正面栅线电极的高度为5-20um；所述高度所在的方向，与所述化学钝化膜和所述场钝化减反射膜的层叠方向平行；

和/或，每个所述正面栅线电极在所述第二方向上的尺寸为15-50um。

11.根据权利要求3所述的太阳能电池，其特征在于，在所述化学钝化膜为氧化硅膜的情况下，所述化学钝化膜的厚度为0.5-5nm；

在所述化学钝化膜为氧化铝膜的情况下，所述化学钝化膜的厚度为2-10nm；所述厚度所在的方向，与所述化学钝化膜和所述场钝化减反射膜的层叠方向平行。

12.一种光伏组件，其特征在于，包括：包括若干个如权利要求1-11中任一所述的太阳能电池。