[发明专利]一种有效抑制300mm重掺砷MCZ单晶放肩NG的系统及其方法

权利要求书

1.一种有效抑制300mm重掺砷MCZ单晶放肩NG的系统，包括箱体(1)和底座(2)，所述箱体(1)上铰接有箱盖(3)，所述箱体(1)上开设有凹腔(4)，所述凹腔(4)中设置有加热棒(5)，其特征在于，所述箱体(1)的外表面开设有与凹腔(4)相连通的第一通孔(6)，所述凹腔(4)中固定连接有内胆(17)，所述内胆(17)的外表面贯穿开设有与凹腔(4)相连通的第二通孔(18)，所述内胆(17)上设置有散热机构(7)；

所述散热机构(7)包括第一固定板(701)、第二固定板(702)和第三固定板(703)，所述第一固定板(701)通过安装机构(704)设置有坩埚(705)，所述第二固定板(702)的顶部左右对称贯穿开设有转动槽(706)，两个所述转动槽(706)的内部通过转轴(707)转动连接有转动臂(708)，两个所述转动臂(708)之间转动连接有气缸(709)，所述转动臂(708)与第一固定板(701)之间活动连接，所述第二固定板(702)的顶部螺纹连接有第一螺纹杆(710)，所述第一螺纹杆(710)的顶端上设置有定位机构(711)，所述第二固定板(702)与第三固定板(703)之间固定连接有弹簧(712)，所述第三固定板(703)的底部固定连接有第一连接板(713)，所述第一连接板(713)上固定连接有第二连接板(714)，所述第二连接板(714)上固定连接有封板(715)，所述封板(715)与内胆(17)之间滑动连接；

所述定位机构(711)包括固定座(7111)，所述固定座(7111)外表面的底部与第一螺纹杆(710)的顶端螺纹连接，所述固定座(7111)的一侧贯穿开设有螺纹槽(7112)，所述螺纹槽(7112)上对称螺纹连接有第二螺纹杆(7113)，两个所述第二螺纹杆(7113)相离的一端均转动连接有抵触板(7114)，所述第二螺纹杆(7113)的外表面固定连接有旋钮(7115)，所述抵触板(7114)与第一固定板(701)之间活动连接，所述抵触板(7114)与内胆(17)之间处于接触状态。

2.根据权利要求1所述的一种有效抑制300mm重掺砷MCZ单晶放肩NG的系统，其特征在于：所述安装机构(704)包括安装板(7041)，所述安装板(7041)通过固定螺钉(7042)固定连接在第一固定板(701)的顶部上。

3.根据权利要求1所述的一种有效抑制300mm重掺砷MCZ单晶放肩NG的系统及其方法，其特征在于：所述第二固定板(702)的顶部贯穿开设有活动孔(19)，所述第三固定板(703)的顶部固定连接有连接杆(8)，所述连接杆(8)位于弹簧(712)的内部。

4.根据权利要求3所述的一种有效抑制300mm重掺砷MCZ单晶放肩NG的系统，其特征在于：所述连接杆(8)的外表面与活动孔(19)的内部相适配，所述连接杆(8)的顶端固定连接有挡块(9)，所述第二通孔(18)与第一通孔(6)处于同一水平线上。

5.根据权利要求1所述的一种有效抑制300mm重掺砷MCZ单晶放肩NG的系统，其特征在于：所述第一固定板(701)的两侧均开设有滑槽(10)，所述滑槽(10)槽腔的顶部和底部均呈开口设置，所述滑槽(10)的内部与抵触板(7114)的外表面相适配。

6.根据权利要求1所述的一种有效抑制300mm重掺砷MCZ单晶放肩NG的系统，其特征在于：所述第一固定板(701)的底部开设有横槽(11)，所述横槽(11)的内部与转动臂(708)的外表面相适配，所述转动臂(708)的一侧贯穿开设有通槽(20)。

7.根据权利要求1所述的一种有效抑制300mm重掺砷MCZ单晶放肩NG的系统，其特征在于：所述箱体(1)的外表面分别固定连接有顶板(12)和底板(13)，所述箱体(1)的外表面活动连接有遮挡板(14)，所述遮挡板(14)的顶部贯穿开设有活动槽(15)。