[发明专利]一种用于白光干涉仪的多功能新型检测平台有效

专利信息
申请号: 202210434405.0 申请日: 2022-04-24
公开(公告)号: CN114778085B 公开(公告)日: 2023-01-24
发明(设计)人: 刘路通 申请(专利权)人: 新启航半导体有限公司
主分类号: G01M11/04 分类号: G01M11/04;G01D3/08;F16F15/067;G01B9/02
代理公司: 中山华文专利代理事务所(普通合伙) 44737 代理人: 鲍璐璐;曹聪聪
地址: 528000 广东省佛山市高明区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 白光 干涉仪 多功能 新型 检测 平台
【说明书】:

发明公开一种用于白光干涉仪的多功能新型检测平台,包括有用于放置干涉仪本体的仪器固定台和用于放置计算机的电脑固定台,可以根据操作者的使用需求以及使用习惯来调节仪器固定台和电脑固定台之间的位置,便于操作者的使用;通过盖板组件以及状态选择机构的设置,能够使其盖板组件中的主盖板和伸缩盖板保持向上竖直状态,从而能够有效的起到保护干涉仪本体的作用,进而能够极大的降低干涉仪本体因存放不当或外部的意外因素造成损坏;当干涉仪本体不使用时,可通过升降机构带动干涉仪本体从开口处缩入到仪器固定台的内部,从而能够有效的保护到干涉仪本体以及能够起到防尘的作用;通过缓震底座的设置,使得干涉仪本体在运行中更加稳定精确。

技术领域

本发明涉及白光干涉仪技术领域,尤其涉及一种用于白光干涉仪的多功能新型检测平台。

背景技术

干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动,而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起,所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量,从而测得与此有关的其他物理量。

很多领域中都会用到白光干涉仪对物体进行测量,白光干涉仪使用过程中,通常与计算机进行连接,通过计算机查看测量数据;而且,现有都是将干涉仪和计算机都是放置在一个检测平台上,操作者需要在干涉仪和计算机之间进行操作,从而操作者要频繁的左右移动进行操作,操作起来极其的不便;另外,现有的检测平台只能使干涉仪简单的进行放置,无法对干涉仪起到良好的保护作用,因为干涉仪属于高精密仪器,在存放时不仅需要在洁净干燥的环境下,还不能受到碰撞。

因此,有必要设计一种能便于操作者使用以及具有保护干涉仪结构的多功能检测平台。

发明内容

本发明的目的是为了提供一种用于白光干涉仪的多功能新型检测平台,来解决上述背景技术中的一个问题以上。

为了达到上述目的,本发明采用以下方案:一种用于白光干涉仪的多功能新型检测平台,包括有用于放置干涉仪本体的仪器固定台和用于放置计算机的电脑固定台,所述仪器固定台与电脑固定台的一侧活动连接,在所述仪器固定台内设有具有缓震结构的缓震底座以及驱动所述缓震底座上下升降的升降机构,干涉仪本体安装在所述缓震底座上,在所述仪器固定台的端面贯通设有开口,所述升降机构能驱动干涉仪本体上下升降从而伸出开口外或缩入开口内,在所述开口的左右两侧均铰接有能敞开或封闭开口的盖板组件,所述盖板组件包括有转轴、主盖板以及伸缩盖板,所述转轴的两端转动安装在开口的两侧,且在所述转轴的外壁沿其轴向方向设有第一通槽,所述主盖板活动穿设在第一通槽内,在所述主盖板的端部贯通设有第二通槽,所述伸缩盖板活动穿设在第二通槽内,在所述仪器固定台上还设有状态选择机构,所述状态选择机构能够使主盖板与伸缩盖板保持竖直状态设置在仪器固定台的上方,或使主盖板与伸缩盖板保持竖直状态缩入仪器固定台内,在干涉仪本体上安装有开板组件,所述开板组件能够通过干涉仪本体的上升从而将所述盖板组件进行开启。

如上述的一种用于白光干涉仪的多功能新型检测平台,在所述伸缩盖板上还设有离合组件,所述离合组件能够与传动组件连接或脱离,当所述离合组件与传动组件连接时,干涉仪本体上升过程中能够同时带动伸缩盖板上升,当所述离合组件与传动组件脱离时,干涉仪本体上升过程中伸缩盖板保持在主盖板内。

如上述的一种用于白光干涉仪的多功能新型检测平台,所述状态选择机构包括有设置在所述仪器固定台端面且位于开口两侧的限位座,所述主盖板的一侧能贴合在限位座的一侧从而使其保持竖直向上状态,在所述仪器固定台端面贯通设有能与第一通槽对应相连通通孔,所述主盖板能竖直缩入所述通孔内,在所述仪器固定台端面还左右滑动有挡板,所述挡板能左右滑动在通孔内从而限制主盖板的移动。

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