[发明专利]一种用于白光干涉仪的多功能新型检测平台有效
| 申请号: | 202210434405.0 | 申请日: | 2022-04-24 | 
| 公开(公告)号: | CN114778085B | 公开(公告)日: | 2023-01-24 | 
| 发明(设计)人: | 刘路通 | 申请(专利权)人: | 新启航半导体有限公司 | 
| 主分类号: | G01M11/04 | 分类号: | G01M11/04;G01D3/08;F16F15/067;G01B9/02 | 
| 代理公司: | 中山华文专利代理事务所(普通合伙) 44737 | 代理人: | 鲍璐璐;曹聪聪 | 
| 地址: | 528000 广东省佛山市高明区*** | 国省代码: | 广东;44 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 白光 干涉仪 多功能 新型 检测 平台 | ||
1.一种用于白光干涉仪的多功能新型检测平台,其特征在于:包括有用于放置干涉仪本体(1)的仪器固定台(2)和用于放置计算机(3)的电脑固定台(4),所述仪器固定台(2)与电脑固定台(4)的一侧活动连接,在所述仪器固定台(2)内设有具有缓震结构的缓震底座(5)以及驱动所述缓震底座(5)上下升降的升降机构,干涉仪本体(1)安装在所述缓震底座(5)上,在所述仪器固定台(2)的端面贯通设有开口(6),所述升降机构能驱动干涉仪本体(1)上下升降从而伸出开口(6)外或缩入开口(6)内,在所述开口(6)的左右两侧均铰接有能敞开或封闭开口(6)的盖板组件(7),所述盖板组件(7)包括有转轴(8)、主盖板(9)以及伸缩盖板(10),所述转轴(8)的两端转动安装在开口(6)的两侧,且在所述转轴(8)的外壁沿其轴向方向设有第一通槽(11),所述主盖板(9)活动穿设在第一通槽(11)内,在所述主盖板(9)的端部贯通设有第二通槽(12),所述伸缩盖板(10)活动穿设在第二通槽(12)内,在所述仪器固定台(2)上还设有状态选择机构,所述状态选择机构能够使主盖板(9)与伸缩盖板(10)保持竖直状态设置在仪器固定台(2)的上方,或使主盖板(9)与伸缩盖板(10)保持竖直状态缩入仪器固定台(2)内,在干涉仪本体(1)上安装有开板组件,所述开板组件能够通过干涉仪本体(1)的上升从而将所述盖板组件(7)进行开启。
2.根据权利要求1所述的一种用于白光干涉仪的多功能新型检测平台,其特征在于:在所述伸缩盖板(10)上还设有离合组件,所述离合组件能够与传动组件连接或脱离,当所述离合组件与传动组件连接时,干涉仪本体(1)上升过程中能够同时带动伸缩盖板(10)上升,当所述离合组件与传动组件脱离时,干涉仪本体(1)上升过程中伸缩盖板(10)保持在主盖板(9)内。
3.根据权利要求1所述的一种用于白光干涉仪的多功能新型检测平台,其特征在于:所述状态选择机构包括有设置在所述仪器固定台(2)端面且位于开口(6)两侧的限位座(31),所述主盖板(9)的一侧能贴合在限位座(31)的一侧从而使其保持竖直向上状态,在所述仪器固定台(2)端面贯通设有能与第一通槽(11)对应相连通通孔(32),所述主盖板(9)能竖直缩入所述通孔(32)内,在所述仪器固定台(2)端面还左右滑动有挡板(33),所述挡板(33)能左右滑动在通孔(32)内从而限制主盖板(9)的移动。
4.根据权利要求2所述的一种用于白光干涉仪的多功能新型检测平台,其特征在于:所述开板组件包括有设置在干涉仪本体(1)上端的圆柱体(41),所述圆柱体(41)的两端均向左右延伸并能顶动所述盖板组件(7)从而使盖板组件(7)开启,所述离合组件包括有活动插设在伸缩盖板(10)一侧的离合板(42),所述离合板(42)的移动能使其与圆柱体(41)连接或脱离,在所述主盖板(9)两侧贯通设有滑槽(43),所述离合板(42)能滑动设置在所述滑槽(43)内。
5.根据权利要求1所述的一种用于白光干涉仪的多功能新型检测平台,其特征在于:所述升降机构包括左右对称设置在所述仪器固定台(2)内的电机丝杆滑台(51),所述电机丝杆滑台(51)的滑动块与缓震底座(5)固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种用于白光干涉仪的多功能新型检测平台,其特征在于:所述缓震底座(5)包括有底座体(61),所述底座体(61)上端为槽口(62),干涉仪本体(1)的下端安装有底板(63),所述底板(63)活动设置在所述槽口(62)内,并在底板(63)的下端四角处设有圆凸台(64),所述圆凸台(64)下端设有导向杆(65),所述导向杆(65)活动穿设在底座体(61)的下端,在所述圆凸台(64)与底座体(61)底壁之间连接缓震弹簧(66),在所述导向杆(65)的下端且位于底座体(61)下方设有螺栓(67),在所述螺栓(67)上螺纹连接有螺母(68),在所述导向杆(65)外上下活动套设有套筒(69),所述套筒(69)的两端分别抵靠在底座体(61)底端与螺母(68)之间。
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