[发明专利]一种晶圆检测用吹气装置及方法

权利要求书

1.一种晶圆检测用吹气装置，其特征在于，包括晶圆检测平台，所述晶圆检测平台包括载台主体和设置于其上的放置槽，所述放置槽的外周还设置有载台吸附环，所述载台吸附环设置有若干个环形内置气道；所述放置槽由石英玻璃构成，所述石英玻璃的上表面低于所述载台吸附环的上表面，且所述载台吸附环靠近所述石英玻璃的内边缘开设有若干个气槽。

2.根据权利要求1所述的晶圆检测用吹气装置，其特征在于，所述石英玻璃的外边缘设置有斜角。

3.根据权利要求2所述的晶圆检测用吹气装置，其特征在于，在所述石英玻璃上设置有若干个凸台，所述凸台设置于靠近斜角一侧的所述石英玻璃的上表面。

4.根据权利要求3所述的晶圆检测用吹气装置，其特征在于，所述凸台与气槽交错设置。

5.根据权利要求1或3所述的晶圆检测用吹气装置，其特征在于，所述吹气装置还包括吹气机构，所述吹气机构包括气管和吹气件，所述气管的一端连接所述吹气件，另一端连接外部风机，气流经所述气管输送至所述吹气件处流出；所述吹气机构设置于晶圆检测平台的一侧，当所述吹气机构启动时，所述吹气件位于所述晶圆检测平台上方并对放置于所述晶圆检测平台上的待测晶圆施加气流。

6.根据权利要求5所述的晶圆检测用吹气装置，其特征在于，所述吹气机构还包括用于调节气流速度的调速阀口，所述调速阀口设置于所述风机与所述气管相连通处。

7.根据权利要求5所述的晶圆检测用吹气装置，其特征在于，所述吹气机构上可设置若干个所述吹气件，所述吹气件为扇形喷嘴或针型喷嘴。

8.根据权利要求5所述的晶圆检测用吹气装置，其特征在于，所述晶圆检测平台下方连接有移动机构，所述移动机构带动所述晶圆检测平台经所述吹气机构所在区域移动至外部检测机构处完成晶圆检测。

9.一种晶圆检测用吹气方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，将吹气件放置于所述晶圆检测平台上方，依据所述吹气件的类型以及所述晶圆检测平台的面积S调节两者之间的距离D；S2，依据所述距离D、所述面积S和所述晶圆检测平台移动的方向，调节所述吹气件的作用角度，使所述吹气件所在平面延长线与所述晶圆检测平台上表面所在平面延长线之间形成的夹角θ范围为60°至90°；S3，依据所述距离D、所述面积S和所述夹角θ调节所述吹气件的气流流速；S4，所述晶圆检测平台在移动机构的带动下移动经过所述吹气机构时，所述吹气件吹气且持续作用于所述晶圆检测平台；S5，所述移动机构带动所述晶圆检测机构继续移动至外部检测机构处完成晶圆检测。

10.根据权利要求9所述的晶圆检测用吹气方法，其特征在于，所述步骤S1中，所述距离D的值与所述面积S的值成正比；所述步骤S3中，所述气流流速与所述距离D的值成正比。