[发明专利]表面检测装置和表面检测方法

说明书

本申请公开了一种表面检测装置和表面检测方法。基于本申请，检测光可以包括偏振方向不同的第一检测光和第二检测光，其中，第一检测光产生的第一反射光、以及由第二检测光产生的第二反射光中从物体表面直接反射成像的漫反射光的光线特性基本相同，并且，由于多级反射光具有趋近于镜面反射光的特性，因而第一反射光和第二反射光中的多级反射光分别保留了第一检测光和第二检测光的不同偏振特性，从而，第一反射光和第二反射光中的漫反射光可以在第一检测图像和第二检测图像中形成共性图像特征、多级反射光通过偏振过滤而被差异化成像，进而，通过寻求第一检测图像和第二检测图像中的共性图像特征、排除差异化图像特征，可以提高检测的准确度。

技术领域

本申请涉及表面检测技术，特别涉及一种表面检测装置和表面检测方法。

背景技术

物体表面可能会由于例如划伤、碰撞等原因而存在凹凸不平的表面缺陷，并且，此类的表面缺陷往往是细微且不易被观察到的。

为了检测上述的表面缺陷，可以在物体表面产生检测光，并且，检测光在物体表面形成的反射光可以被成像模组接收并成像。其中，物体表面的表面特征会影响反射光在成像模组的成像位置，因此，根据反射光在成像模组的成像位置，可以确定物体表面的表面特征。例如，根据反射光在成像模组的成像位置，可以确定物体表面的深度信息，该深度信息用于表征表面特征的凹凸程度。从而，根据物体表面的表面特征，可以确定该物体表面是否存在表面缺陷。

然而，对于带有指定造型、或安装结构等结构特征多的物体而言，检测光在某处物体表面形成的反射光，可能会被相邻的结构特征二次反射或多次反射后才到达成像模组。其中，不同于从物体表面直接反射至成像模组的反射光，经二次反射或多次反射的多级反射光在成像模组的成像位置并不能真正反应表面特征，因此，经二次反射或多次反射的多级反射光也可以被称为多级反射光(也可称为乱反射光)，并且，多级反射光会在成像模组产生的图像中形成图像噪声，由多级反射光导致的图像噪声会严重干扰成像模组得到的图像质量，从而干扰对表面特征的确定，导致检测的准确度不高。

发明内容

在本申请的实施例中，提供了一种表面检测装置和表面检测方法，有助于提高对表面特征的检测准确度。

在一个实施例中，提供了一种表面检测装置，包括：

光源模组，用于分别产生第一检测光和第二检测光，其中，所述第一检测光用于在检测对象的对象表面的目标区域形成第一反射光，所述第二检测光用于在所述目标区域形成第二反射光，所述第一检测光和所述第二检测光的光轴重合，并且，所述第一检测光和所述第二检测光的偏振方向不同；

过滤组件，用于对所述第一反射光和所述第二反射光进行偏振过滤；

成像模组，用于基于偏振过滤后的所述第一反射光成像得到第一检测图像，并且，基于偏振过滤后的所述第二反射光成像得到第二检测图像；

其中，所述过滤组件对所述第一反射光和所述第二反射光进行的偏振过滤，使所述第一反射光和所述第二反射光中的多级反射光在所述成像模组差异化成像；

处理模组，用于基于所述第一检测图像和所述第二检测图像，确定所述对象表面的表面特征，其中，所述第一检测图像和所述第二检测图像中的共性图像特征用于表征所述表面特征，并且，所述共性图像特征是基于所述第一反射光和所述第二反射光中直接反射至所述成像模组的漫反射光成像得到的。

可选地，所述光源模组包括：第一光发生器，用于产生在第一偏振方向上偏振的所述第一检测光；第二光发生器，用于产生在第二偏振方向上偏振的所述第二检测光；光轴校准构件，用于将所述第一检测光和所述第二检测光在相同的光轴位置射出；其中，所述第一光发生器和所述第二光发生器被配置为分时启动。