[发明专利]表面检测装置和表面检测方法

权利要求书

1.一种表面检测装置，其特征在于，包括：

光源模组，用于分别产生第一检测光和第二检测光，其中，所述第一检测光用于在检测对象的对象表面的目标区域形成第一反射光，所述第二检测光用于在所述目标区域形成第二反射光，所述第一检测光和所述第二检测光的光轴重合，并且，所述第一检测光和所述第二检测光的偏振方向不同；

过滤组件，用于对所述第一反射光和所述第二反射光进行偏振过滤；

成像模组，用于基于偏振过滤后的所述第一反射光成像得到第一检测图像，并且，基于偏振过滤后的所述第二反射光成像得到第二检测图像；

其中，所述过滤组件对所述第一反射光和所述第二反射光进行的偏振过滤，使所述第一反射光和所述第二反射光中的多级反射光在所述成像模组差异化成像；

处理模组，用于基于所述第一检测图像和所述第二检测图像，确定所述对象表面的表面特征，其中，所述第一检测图像和所述第二检测图像中的共性图像特征用于表征所述表面特征，并且，所述共性图像特征是基于所述第一反射光和所述第二反射光中直接反射至所述成像模组的漫反射光成像得到的。

2.根据权利要求1所述的表面检测装置，其特征在于，所述光源模组包括：

第一光发生器，用于产生在第一偏振方向上偏振的所述第一检测光；

第二光发生器，用于产生在第二偏振方向上偏振的所述第二检测光；

光轴校准构件，用于将所述第一检测光和所述第二检测光在相同的光轴位置射出；

其中，所述第一光发生器和所述第二光发生器被配置为分时启动。

3.根据权利要求1所述的表面检测装置，其特征在于，所述光源模组包括：

第三光发生器，用于产生在第一偏振方向上偏振的第一检测光；

其中，响应于产生所述第一检测光的第一时刻到达，所述第一检测光被射向所述目标区域；

并且，响应于产生所述第二检测光的第二时刻到达，在所述第一偏振方向上偏振的所述第一检测光被偏振转换构件转换为在第二偏振方向上偏振的所述第二检测光，并且，所述第二检测光被射向所述目标区域。

4.根据权利要求3所述的表面检测装置，其特征在于，所述光源模组进一步包括：

光轴校准构件，用于将所述第一检测光和所述第二检测光在相同的光轴位置射出，其中，所述偏振转换构件布置在所述第三光发生器与所述光轴校准构件之间的光路之外；

光束旁路组件，用于响应于所述第一时刻到达而避让射向所述光轴校准构件的所述第一检测光；以及，响应于所述第二时刻到达，将射向所述光校准构件的所述第一检测光旁路至所述偏振转换构件，并且，将所述偏振转换构件转换得到的所述第二检测光投射回所述光轴校准构件。

5.根据权利要求3所述的表面检测装置，其特征在于，

所述偏振转换构件被配置为：对所述第一检测光的偏振方向转换响应于所述第一时刻到达而失效，并且，对所述第一检测光的偏振方向转换响应于所述第二时刻到达而生效。

6.根据权利要求2或4所述的表面检测装置，其特征在于，所述光轴校准构件包括合束镜。

7.根据权利要求2至5中任一项所述的表面检测装置，其特征在于，

所述光源组件进一步包括光束束形构件，用于将所述第一检测光和所述第二检测光的光束截面转换为预设形状。

8.根据权利要求7所述的表面检测装置，其特征在于，

所述光束束形构件包括一字光斑透镜，所述一字光斑透镜用于将所述第一检测光和所述第二检测光的光束截面转换为线形形状。

9.根据权利要求1所述的表面检测装置，其特征在于，

所述过滤组件包括偏振片；

其中，所述偏振片布置在所述成像模组接收所述第一反射光和所述第二反射光的光路中；

并且，所述偏振片的偏振化方向与所述第一检测光和所述第二检测光中的任意一个的偏振方向相同，以使得所述多级反射光在所述成像模组差异化成像。

10.一种表面检测方法，其特征在于，包括：

获取对第一反射光成像得到的第一检测图像、以及对第二反射光成像得到的第二检测图像，其中，所述第一反射光是第一检测光在检测对象的对象表面的目标区域形成的，所述第二反射光是第二检测光在所述目标区域形成的，所述第一检测光和所述第二检测光的光轴重合，所述第一检测光和所述第二检测光的偏振方向不同，并且，所述第一反射光和所述第二反射光中的多级反射光通过偏振过滤而在所述第一检测图像和所述第二检测图像中差异化成像；

基于所述第一检测图像和所述第二检测图像，确定所述对象表面的表面特征，其中，所述第一检测图像和所述第二检测图像中的共性图像特征用于表征所述表面特征，并且，所述共性图像特征是基于所述第一反射光和所述第二反射光中直接反射成像的漫反射光确定的。