[发明专利]制绒装置及制绒方法在审
申请号: | 202210392875.5 | 申请日: | 2022-04-15 |
公开(公告)号: | CN114927443A | 公开(公告)日: | 2022-08-19 |
发明(设计)人: | 高永强;苏世杰;余义;周守亮 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(安徽)有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/20;C30B33/10 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 周孝湖 |
地址: | 230031 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 方法 | ||
本发明提供了一种制绒装置及制绒方法,其中制绒装置包括制绒槽;花篮,设于制绒槽内,花篮包括花篮杆和多个花篮齿,多个花篮齿间隔设置在花篮杆上,相邻两个花篮齿之间形成置放空间,花篮齿的纵截面中部的宽度大于两端的宽度,纵截面与多个花篮齿在花篮杆上的排列方向上平行。制绒方法采用上述的制绒装置对硅片进行制绒,该制绒方法包括:在制绒槽内盛装制绒药液且放置花篮,花篮的置放空间内放置硅片,并使制绒药液完全淹没硅片。该制绒装置及制绒方法可使异质结电池片的花篮齿印比例大幅减少,且电池效率和平均产量有所提升。
技术领域
本发明涉及太阳电池生产技术领域,特别是涉及一种制绒装置及制绒方法。
背景技术
异质结太阳电池(Heterojunction with Intrinsic Thinfilm,HJT),因为其独特的双面对称结构及非晶硅层优秀的钝化效果,具备着转换效率高、双面率高、几乎无光致衰减、温度特性良好、可使用薄硅片、可叠加钙钛矿等多种天然优势。并且,其制造工艺流程较短,电池片只需要2.5小时下线。
HJT电池因为其特殊的结构,使他有着高效率和高发电量的天然优势;与目前主流的PERC技术相比,HJT太阳电池目前最大的问题是成本。HJT需要高昂的生产原辅材料和设备投入,成为了制约其快速发展的最主要因素,产品良率和效率的不断提高,是其规模化量产的重要前提,而制绒机台导致的篮齿印隔离率偏高,严重影响良率、效率和产能的爬坡。
在异质结太阳电池片制备过程中,硅片需要经过粗抛→臭氧清洗→预清洗→制绒→后清洗→圆滑处理→氢氟酸钝化→慢提拉→烘干,其中制绒槽主要作用是利用低浓度碱溶液对晶体硅在不同晶体取向上具有不同腐蚀速率的各向异性腐蚀特性,在硅片表面形成密集分布的“金字塔”结构的减反射绒面。
异质结太阳电池因其独特的结构,要求制绒后的界面与非晶硅界面要有很好的匹配性,所以对硅片表面的清洁度和绒面结构的均匀性、稳定性要求明显高于常规单晶硅太阳电池。传统的硅片制绒过程中,存在硅片与花篮接触部位药液反应不充分,并有药液残留,在镀膜工序后容易产生沉积钝化不良,在太阳电池片上形成“花篮齿印”的问题,严重影响了产品的生产效率和良率。
发明内容
基于此,有必要针对传统的太阳电池生产过程中出现的花篮齿印问题,提供一种能够降低电池片花篮齿印不良的制绒装置及制绒方法。
本发明提出的技术方案如下:
根据本发明的一个方面,提供了一种制绒装置,包括:
制绒槽;及
花篮,设于所述制绒槽内,所述花篮包括花篮杆和多个花篮齿,多个所述花篮齿间隔设置在所述花篮杆上,相邻两个所述花篮齿之间形成置放空间,所述花篮齿的纵截面中部的宽度大于两端的宽度,所述纵截面与多个所述花篮齿在所述花篮杆上的排列方向上平行。
在其中一些实施例中,所述花篮齿的中部具有接触部,所述接触部的表面经过粗糙化处理。
在其中一些实施例中,所述花篮齿为聚偏氟乙烯塑料材质。
在其中一些实施例中,所述花篮杆上相邻两个的所述花篮齿之间的齿距为3.5mm~5.5mm。
在其中一些实施例中,所述制绒槽的底板上开设有多个出液孔。
在其中一些实施例中,所述制绒槽的顶部沿所述制绒槽的四周间隔设置有多个溢流口。
在其中一些实施例中,所述溢流口为从所述制绒槽的上沿向下延伸的倒三角形缺口。
根据本发明的另一方面,提供了一种制绒方法,采用本发明上述的制绒装置对硅片进行制绒,所述制绒方法包括:
在所述制绒槽内盛装制绒药液且放置所述花篮,所述花篮的所述置放空间内放置所述硅片,并使所述制绒药液完全淹没所述硅片。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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