[发明专利]一种辅助OHT的平稳机构

说明书

本发明提供了一种辅助OHT的平稳机构，属于天车技术领域，包括固定连接在天车框架上的安装座，在安装座上固定连接有步进电机，在步进电机输出轴上同轴固定连接有一驱动丝杠，在安装座上表面上安装有一驱动板，驱动板与驱动丝杠螺纹连接，在安装座和驱动板之间设有用于限位驱动板只竖直运动的限位件，在驱动板两侧均固定连接有钢轴，本发明具有提高了天车在拿取货物时的稳定性，减小了天车在拿取货物时出现倾斜的情况的概率的优点。

技术领域

本发明属于天车技术领域，特别是一种辅助OHT的平稳机构。

背景技术

半导体领域内，晶圆厂普遍使用自动物料传输系统(AMHS)来提高工厂自动化程度，更加智能地去管理厂内物料的运输与工艺流程管理。

空中自动搬运小车(OHT)是自动物料传输系统中的重要子系统，主要负责搬运FOUP至不同的工艺设备或仓储设备。

如图1所示，现有的自动物料传输系统包括固定连接在天花板上的轨道14和滑动连接在轨道14上的天车15。

目前天车15在运行中都存在定位后与轨道14垂直方向的Y轴伸出时，因天车15轮子较软和重心偏移而导致天车15车身倾斜的问题，天车15车身倾斜后，就无法精确的与工位上的晶圆盒进行对齐定位。

发明内容

本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种辅助OHT的平稳机构，具有提高了天车在拿取货物时的稳定性，减小了天车在拿取货物时出现倾斜的情况的概率的特点。

本发明的目的可通过下列技术方案来实现：

一种辅助OHT的平稳机构，包括固定连接在天车框架上的安装座，在安装座上固定连接有步进电机，在步进电机输出轴上同轴固定连接有一驱动丝杠，在安装座上表面上安装有一驱动板，驱动板与驱动丝杠螺纹连接，在安装座和驱动板之间设有用于限位驱动板只竖直运动的限位件，在驱动板两侧均固定连接有钢轴。

进一步的，所述限位件包括固定连接在安装座上的直线轴承和滑动连接在直线轴承内壁上的导向杆，导向杆的一端与驱动板固定连接。

进一步的，在所述安装座上固定连接有两个直线轴承，两个直线轴承分别位于步进电机两侧。

进一步的，在所述驱动板下表面的四个角上均固定连接有一竖杆，竖杆截面呈矩形设置，竖杆外壁与安装座外壁呈间隙设置，竖杆与驱动板呈一体设置，竖杆的一侧与驱动板的一端端面平齐，所述钢轴固定连接在竖杆上。

进一步的，在驱动板两端的两个竖杆上均固定连接有一钢轴。

进一步的，在所述安装座上表面的两端上均通过螺栓固定连接有一限位杆，限位杆的一侧与竖杆外壁呈间隙设置。

进一步的，在所述钢轴外壁上套设有一塑料套。

进一步的，在驱动板两侧侧壁上均固定连接有一限位板，在天车框架上固定连接有一支架，在支架上固定连接有限位开关。

进一步的，在所述驱动板上固定连接有一滚珠螺母，驱动板通过滚珠螺母与驱动丝杠螺纹连接。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：

1、本发明通过步进电机带动驱动丝杠转动，驱动丝杠带动驱动板向上运动，驱动板带动钢轴向上运动，钢轴带动塑料套一起向上运动，塑料套外壁抵接在轨道下表面上，通过钢轴和天车上的轮子，将天车抵紧在轨道上，通过这样的设置，结构简单，操作方便，提高了天车在拿取货物时的稳定性，减小了天车在拿取货物时出现倾斜的情况的概率。

2、本发明通过在安装座上固定连接有两个直线轴承，两个直线轴承分别位于步进电机的两侧，导向杆的一端滑动连接在直线轴承内壁上，导向杆的另一端与驱动板固定连接，通过这样的设置，结构简单，操作方便，提高了驱动丝杠带动驱动板运动的稳定性；并减小驱动丝杠受到天车倾斜趋势时的侧向力的影响。